国家自然科学基金(10972169)
- 作品数：3 被引量：6H指数：2
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- 激光激励微型硅悬臂梁的振动特性研究被引量：4
- 2010年
- 用光学探测方法研究了半导体硅悬臂梁的振动问题;运用基于外差干涉原理的实验装置得到了悬臂梁在激光激励下的振动响应(振动振幅和相位随调制激光频率的变化);采用等离子波和热弹性波的数学模型,对悬臂梁的振动进行了理论分析;实验与理论模拟结果吻合得很好,同时通过分析可得:振动相位与调制激光频率的平方根之间有线性关系.
- 宋亚勤
- 关键词：振动
- 光热激励下微悬臂梁在流体中的振动研究被引量：2
- 2014年
- 微悬臂梁结构广泛应用于微纳电子机械系统.在实际应用中,涂层和工作环境的变化对微悬臂梁结构动态工作模式有着不容忽视的影响.运用流体中双层微悬臂梁的光热振动模型,研究了在激光光热驱动下,金涂层微悬臂梁在不同流体中的振动特性.理论上得到了微悬臂梁的温度场,光热驱动力和振动变形场的解析表达式.研究结果表明,流体环境对微悬臂梁的光热振动谱有显著的影响,主要表现在共振频率的偏移和品质因子的变化两个方面.相比较于悬臂梁在真空中的响应,当悬臂梁在空气中振动时,共振频率向低频产生微小的漂移(0.7%),共振峰未发生明显变化;然而,当悬臂梁在液体中振动的时候,共振频率向低频产生巨大的漂移(58%～80%),而且品质因子发生量级上的减小,共振峰发生了畸变.本研究对微纳探测以及原子力显微镜等仪器的设计优化,有着一定的理论指导意义.
- 董天宝宋亚勤
- 关键词：微悬臂梁动力响应流体动力
- 激光激励下微半导体结构的三维温度响应
- 2014年
- 论文运用耦合的等离子波和热传导模型研究了在激光激励下的半导体微硅试件的温度响应;采用格林函数方法得到了在热化热源、体复合热源和表面复合热源共同作用下三维微硅试件中载流子浓度和温度的解析解;对均布激光和聚焦激光激励下的微硅试件温度响应进行了计算,得到了温度的空间分布及其随激励频率的变化关系.
- 徐婕宋亚勤康永锋
- 关键词：光热格林函数载流子浓度温度
