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教育部留学回国人员科研启动基金(J0226)

作品数：1 被引量：0H指数：0
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电位
  • 1篇欠电位沉积
  • 1篇热电材料
  • 1篇ECALE

机构

  • 1篇华中科技大学

作者

  • 1篇朱文
  • 1篇杨君友
  • 1篇郜鲜辉

传媒

  • 1篇功能材料

年份

  • 1篇2004
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
电化学原子层外延沉积碲化铋纳米薄膜研究
2004年
本文首次研究了电化学原子层外延(ECALE)法室温沉积碲化铋纳米薄膜的过程.ECALE是原子层外延的电化学模拟.它通过欠电位技术实现电化学沉积过程中的原子级的精确控制,每次只沉积一个原子层厚度,通过沉积循环的控制可以实现对沉积薄膜材料种类和厚度的控制.采用三电极和循环伏安法,分别研究确定了Pt电极上欠电位沉积金属Bi薄膜、Te在Pt电极上欠电位沉积条件以及Bi在Te表面和Te在Bi表面的交替沉积行为及其沉积参数,通过不同电位交替沉积得到Bi2Te3纳米薄膜.对薄膜的氧化剥落及其电量分析结果进一步证明了该薄膜的沉积过程是一种二维层状生长过程.
杨君友朱文郜鲜辉
关键词：ECALE欠电位沉积热电材料
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