国家高技术研究发展计划(2006AA4Z325)
- 作品数：3 被引量：17H指数：2
- 相关作者：刘世元史铁林谢勇君张文栋王海珊更多>>
- 相关机构：华中科技大学暨南大学中北大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金广东省自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程更多>>
- 基于干涉显微原理的表面形貌测量系统被引量：15
- 2008年
- 根据光学干涉显微法原理,设计开发了一套微纳结构表面形貌测量系统。该系统采用林尼克干涉显微镜,通过参考镜扫描的方法将扫描器与相移器集为一体,分别采用五步相移算法和基于采样定理的包络均方函数(SEST)算法实现相移干涉法(PSI)和垂直扫描干涉法(VSI)两种模式对微纳结构的表面形貌测量。为验证该系统性能,采用标准多刻线样板和标准台阶作为样件对VSI和PSI两种模式分别进行了测量实验。结果证明,该系统能够完成微纳结构表面形貌的快速精确测量,可以满足微电子、微机电系统中微纳结构的表面形貌测量要求。
- 王海珊史铁林廖广兰刘世元张文栋
- 微电容加速度计结构的热固耦合拓扑优化被引量：2
- 2010年
- 基于连续体结构拓扑优化的SIMP材料插值模型,建立了热固耦合场结构的有限元控制方程;通过伴随矩阵方法,研究了热固耦合场的敏度分析问题;以叉指式微电容加速度计质量块受热膨胀后,在加速度检测方向的最大形变不大于某一给定值为目标,以质量块的体积比为约束条件,建立了质量块结构的热固耦合拓扑优化模型;采用优化准则算法进行迭代求解后,得到了微电容加速度计质量块的最优拓扑形式,当工作温度在0～300℃范围内变化时,该拓扑形式在加速度检测方向的最大形变仅为23.9nm。
- 谢勇君严冬松陈焕远刘浩李景明
- 关键词：拓扑优化
- 一种环境可控的MEMS微结构离面动态变形测试系统被引量：1
- 2010年
- 利用Linnik显微干涉技术和环境控制技术,研制了一套环境可控的微机电系统(MEMS)微结构离面动态变形测试系统,该系统可测量不同温度、不同压力下MEMS微结构的离面动态变形情况。测试系统的环境控制装置可提供0～300℃的温度变化和0.1～0.6MPa的压力变化。利用测试系统对不同压力下绝压型硅微压力传感器膜的动态变形以及不同温度下微电路板的变形形貌进行了测量,其中绝压型硅微压力传感器膜变形量的测量重复性误差小于20nm。
- 谢勇君史铁林刘世元吴健康
- 关键词：MEMS微结构环境控制显微干涉
