国家自然科学基金(51172035)
- 作品数：5 被引量：6H指数：2
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- BaO-Nd_2O_3-Sm_2O_3-TiO_2薄膜的微波特性
- 2013年
- 在制作完底电极的LaAlO3(100)衬底上,利用磁控溅射法制备了一层BaO-Nd2O3-Sm2O3-TiO2(BNST)系薄膜,再对薄膜进行退火处理。X线衍射仪(XRD)分析表明,经退火处理的BNST薄膜结晶效果良好。采用薄膜电容结构来实现电容的测量,主要研究了BNST薄膜电容的频率特性。阻抗分析测试和矢量网络分析测试表明,在测试频率为1MHz时,介电常数为58.3,介电损耗小于2%;在1GHz的测试频率下,介电常数为57.5,介电损耗小于3%。研究表明,制备的BNST薄膜的频率特性稳定,基本满足微波频率下使用的要求。
- 张洪波王文君秦超张巧真张继华
- 关键词：射频磁控溅射
- 一种新偏压结构的BST电容梳状滤波器设计被引量：1
- 2013年
- 介绍了一种五阶可调抽头式梳状线滤波器,设计采用共面方式接地,使用Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)铁电薄膜平板电容作为可调部件,并分析了平板电容结构的影响。针对梳状电调滤波器需单阶加压和外接大电阻繁琐的情况,提出利用集成在衬底上的大容量BST电容作为隔离电容,将各阶谐振器的偏压线互连来简化加压过程。运用高频电磁仿真软件HFSS进行验证,设计出的滤波器中心频率可调范围为842～960 MHz(14%),3dB带宽为9%～10%。
- 王文君张洪波赵强陈宏伟杨传仁张继华
- 关键词：可调滤波器铁电薄膜BA0
- 一种新型半波长可调滤波器设计被引量：3
- 2014年
- 将Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)铁电薄膜应用于微带电路中,采用高频仿真软件(HFSS)双模法提取耦合系数,快速设计了λ/2(λ为波长)可调滤波器。针对电路中偏压隔离部分设计了用于谐振器间的高阻偏压连线和λ/4接地线,使滤波器能采用端口加压的方式调谐,简化了调谐方式。最终设计了中心频率为7.8GHz、带宽为1GHz的带通可调滤波器。
- 秦超谭宇王文君张洪波杨传仁张继华
- 关键词：可调滤波器BA0微带线
- Ba0．6Sr0．4TiO3薄膜的耐压特性研究被引量：2
- 2013年
- 采用射频磁控溅射法制备了Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)薄膜,研究了基片、退火温度及膜厚对薄膜耐压特性的影响。结果显示,铝酸镧(LaAlO3)基片上制备的BST薄膜表面较平整,有较好的耐压;随着退火温度从750℃提高到850℃,BST薄膜晶粒长大,电击穿概率有所增加,750℃是一个较合理的退火温度。在优化的工艺条件下,BST薄膜耐压可达125V/μm。
- 朱斌张洪波王文君李司中赵强陈宏伟杨传仁张继华
- 关键词：BA0铁电耐压
- 基于Ba_xSr_(1-x)TiO_3薄膜电容的L波段可调滤波器
- 2017年
- 在蓝宝石基片上使用Ba_xSr_(1-x)TiO_3(BST)铁电薄膜电容作为可调元件制作出一种五阶梳状线可调带通滤波器。通过对BST平行板电容的材料特性(介电常数、损耗和可调率)的提取,其中40 V偏压下的可调率为43.1%,将这些特性运用于可调滤波器的制作。初步的实验结果分析表明,在20V直流偏置电压作用下,滤波器的中心频率从1.19GHz变化到1.31GHz(可调率为10.1%),带内插入损耗为13.5~13.7dB,回波损耗低于12dB。
- 刘浪谭宇秦超王文君姚宗影陈宏伟张继华杨传仁
- 关键词：可调滤波器铁电薄膜
