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国家自然科学基金(51375261)

作品数：1 被引量：34H指数：1
相关作者：张学谦邹贵生刘磊白海林更多>>
相关机构：清华大学更多>>
发文基金：清华大学自主科研计划北京市自然科学基金国家教育部博士点基金更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 1篇石英玻璃
  • 1篇数对
  • 1篇微孔加工
  • 1篇激光
  • 1篇光学
  • 1篇飞秒
  • 1篇飞秒激光
  • 1篇倍频
  • 1篇超快光学

机构

  • 1篇清华大学

作者

  • 1篇白海林
  • 1篇刘磊
  • 1篇邹贵生
  • 1篇张学谦

传媒

  • 1篇中国激光

年份

  • 1篇2015
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
飞秒激光参数对石英玻璃微孔加工的影响被引量：34
2015年
微孔加工是微器件加工中的重要环节,飞秒激光的强烈非线性吸收和"冷加工"特性使其在玻璃微纳加工方面有独特的优势和应用前景。选用石英玻璃作为试验材料,研究飞秒激光参数对微孔深径比及形貌的影响。结果表明,飞秒激光脉冲能量、打孔速度对微孔深径比存在较大影响。随着激光能量和打孔速度的增加,微孔深径比均呈现减小趋势。通过选择适当参数,可以获得深径比大于25∶1且孔形较好、无明显裂纹的长直微孔。为了获得更好的聚焦效果,采用倍频晶体BBO获得了400 nm波长的飞秒激光。用相同聚焦透镜时400 nm飞秒激光加工的微孔比800 nm更小。此外,也对飞秒激光微孔加工中常见的缺陷进行了分析。
邢松龄刘磊邹贵生张学谦白海林Y N Zhou
关键词：超快光学飞秒激光微孔加工石英玻璃倍频
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