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中国工程物理研究院基金(2005R0806)
作品数:
1
被引量:8
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相关作者:
鲜晓斌
刘柯钊
王庆富
刘清和
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中国工程物理研究院
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鲜晓斌
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2007
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脉冲偏压对贫铀表面磁控溅射离子镀铝结合强度的影响
被引量:8
2007年
采用磁控溅射离子镀技术在不同偏压下于贫铀表面制备铝镀层,用扫描电镜和俄歇电子能谱仪对镀层形貌和界面元素分布进行分析,用拉伸法对镀层的结合强度进行测定。结果表明:在-900 V脉冲偏压下所得镀层与铀基体结合良好,镀层与基体之间存在较为明显的“伪扩散区”;与直流偏压相比较,脉冲偏压所得镀层结合强度明显增强,镀层的致密性显著改善。
王庆富
鲜晓斌
刘柯钊
刘清和
关键词:
贫铀
铝镀层
脉冲偏压
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