国家自然科学基金(50275076) 作品数:12 被引量:55 H指数:6 相关作者: 左敦稳 相炳坤 黎向锋 李多生 陈荣发 更多>> 相关机构: 南京航空航天大学 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 江苏省普通高校研究生科研创新计划项目 博士研究生创新基金 更多>> 相关领域: 理学 金属学及工艺 化学工程 一般工业技术 更多>>
国内外类金刚石膜技术现状专利分析 被引量:6 2008年 类金刚石(DLC)膜是由sp^3键和sp^2键组态的碳混合组成,已广泛应用到电子、光学、机械等领域。采集1975~2007年国内外DLC技术专利,建立专利数据库,从技术和竞争两个方面对其发展脉络和竞争格局进行定量和定性分析,揭示出国内外DLC技术已处于成熟阶段;半导体电子、光电信息、机械加工、耐磨部件以及医疗器材是其重点应用领域;世界上前10位申请人基本上是美国、日本和德国的跨国企业;在申请数量和质量上国外申请人在我国都占很大优势;目前国内DLC市场基本为国外企业垄断;最后提出了一些发展我国DLC技术的专利战略。 相炳坤 左敦稳 黎向锋关键词:类金刚石膜 专利数据库 专利战略 HFCVD系统中衬底接触热阻的研究 被引量:8 2007年 建立了热丝CVD大面积金刚石膜沉积的衬底温度场模型,对影响衬底温度场的接触热阻及其他相关沉积参数进行了模拟计算。根据实验结果,对接触热阻的计算公式进行了修正。当ζ=0.75时,计算结果和实验结果基本上吻合。在仿真条件下,考虑衬底三维热传导以及热丝温度的不均匀分布使衬底温度场的均匀性明显优于纯热辐射下的温度场。这些计算结果为制备大面积高质量的金刚石薄膜提供了理论基础。 李磊 左敦稳 徐锋 黎向锋 卢文壮关键词:接触热阻 有限元 温度场 金刚石膜 从专利文献分析金刚石涂层工具技术进展 被引量:1 2009年 本文采集1975年到2008年金刚石涂层工具技术1100多件世界专利文献,建立专利数据库,从技术和竞争两个方面对其发展脉络和竞争格局进行定量、定性和引证分析。分析表明:(1)在生长工艺、设备及膜/基结合力等技术方面都已比较成熟,金刚石涂层工具已处于产业化阶段,国内外已有批量产品销售;(2)美日等国不仅重视该技术的基础研究和应用基础研究,而且更重视原创技术开发和知识产权的保护;而我国明显表现出严重的重论文轻专利现象;(3)美日等国绝大多数专利为公司开发,原创性专利多,申请量大,实施率较高;而我国大学申请多,企业申请少,专利的实施率较低。我国研发机构应规划适当专利战略,加强研发机构整合,提高专利的授权量,多申请外国专利。 相炳坤 左敦稳 黎向锋关键词:专利数据库 专利战略 连续多试样纳米金刚石膜沉积设备及工艺 被引量:11 2005年 首先对热丝化学气相沉积(Chem ica l vapor depos ition,CVD)系统进行改造,设计了在真空室外对室内试样进行操纵的机械手系统和储料台,实现了一次热丝碳化后完成多个不同工艺条件下试样的连续沉积。有限元仿真研究结果表明,多衬底温度场比较均匀,适合于金刚石膜的生长。最后,采用改进沉积系统,在A r-CH4-H2气氛中,在多晶钼衬底上成功制备了纳米金刚石薄膜。R am an,XRD和AFM等结果表明,制备的金刚石纯度较高,晶粒大小在30 nm左右,表面光滑。 徐锋 左敦稳 卢文壮 黎向锋 相炳坤 李磊 王珉关键词:热丝化学气相沉积 机械手 从专利分析看BDD电极的研究进展 2012年 掺硼金刚石电极在污废水处理领域具有广阔的应用前景。采用专利检索采集技术建立了该领域专利数据库,并对该数据库进行了统计分析,提出了提高我国专利技术研发应用应采取的措施。分析表明,国际上从1992年起逐步申请该领域专利,目前日本和美国在研发中处于领先地位,我国也已申请70余项专利,近些年在该领域专利申请量呈上升趋势,形成了研究BDD电极的热潮;国外主要由日本和美国开展这方面的工作,德国的CONDIAS公司不仅申请了大量专利,且其产品也已进入市场;国内主要是东南大学、同济大学等高校在做这方面的研发工作。 李文帅 相炳坤 朱其豹关键词:BDD电极 污废水处理 直流等离子体CVD金刚石薄膜微观结构分析 被引量:8 2007年 采用直流等离子体CVD法制备了金刚石膜,利用X射线衍射、光学显微镜、扫描电镜、激光拉曼光谱等技术研究了金刚石膜的微观组织,晶粒择优取向生长过程。结果表明:开始形核时,晶粒随机无择优生长;对基体表面氢刻蚀预处理,有利于晶胚形核长大。甲烷浓度对金刚石膜晶粒择优取向生长有重要影响:甲烷浓度较低时,金刚石膜(100)面择优生长,形成以(111)为主的八面体晶体,并且可以制取中心和边缘均匀、高质量光学级自支撑金刚石膜,但生长速率慢,效率低。同时也发现金刚石膜存在空位、孔洞等缺陷。 李多生 左敦稳 陈荣发 相炳坤 赵礼刚 王珉关键词:化学气相沉积 金刚石膜 微观结构 中国金刚石膜技术专利现状分析 被引量:3 2008年 金刚石膜具有特别优异的性能,在高技术领域有着极为广泛的应用。本文采集1985年到2007年中国金刚石膜技术专利文献,建立专利数据库,从技术和竞争两个方面对其发展脉络和竞争格局进行定量和定性分析,揭示出国内金刚石膜技术已处于较成熟阶段,机械加工和半导体电子领域是其潜在的重点应用领域,涂层技术和定向或单晶生长是其重点开发工艺,国内申请人在专利数量上占优,国外申请人在专利质量上见长,并对国内外重要申请人的研发能力和研发重点进行对比分析,最后提出了一些发展金刚石膜技术的专利战略。 相炳坤 左敦稳 黎向锋 徐锋 李多生 陈荣发关键词:金刚石膜 专利数据库 专利战略 大面积球面金刚石膜的均匀沉积研究 被引量:7 2009年 利用直流电弧等离子体喷射法沉积装置在底径65 mm、高5 mm的Mo球面衬底上制备出厚度大于500μm金刚石膜。用千分尺测量膜径向厚度以判断膜厚均匀性,用SEM观察膜的表面形貌,用拉曼谱仪测量膜的表面纯度,通过分析电镜形貌和拉曼谱峰的分布特点来判断金刚石膜的质量均匀性。结果表明,在优化工艺条件下,直流电弧等离子体喷射法设备可以在球面Mo衬底上生长出厚度和质量都比较均匀的半透光的自支撑球面金刚石厚膜。 相炳坤 左敦稳 李多生 陆海泉 陈荣发关键词:金刚石膜 均匀性 SEM 拉曼 金刚石膜技术研究开发进展——专利文献分析 被引量:2 2008年 金刚石膜具有特别优异的性能,在高技术领域有着极为广泛的应用。本文采集1985年到2008年6月世界金刚石膜技术专利文献,并对其发展脉络和竞争格局进行定量和定性分析,揭示出国际上金刚石膜技术已处于较成熟阶段,工具级、热沉级金刚石膜产品已进入实用阶段,光学级和器件级金刚石膜技术尚未成熟;美国、日本技术实力占优势;德国、美国、日本市场被看好;不同应用领域竞争态势差异很大;通过引证分析得出了相关领域的核心的基础专利。 相炳坤 左敦稳 黎向锋关键词:金刚石膜 专利数据库 直流电弧等离子体喷射法高速制备高质量纳米金刚石膜研究 被引量:7 2008年 利用直流电弧等离子体喷射法沉积装置在底径Ф65mm高5mm的Mo球面衬底上成功制备出纳米金刚石薄膜,文章研究了在稳定电弧状态下碳氢比对金刚石膜形貌的影响。通过扫描电子显微镜、原子力显微镜及Raman光谱对样品的晶粒尺寸及质量进行了表征。研究结果表明:在稳定电弧状态下,通过提高碳氢比可以在Mo球面衬底上的表面高速沉积出高质量的纳米金刚石薄膜,晶粒尺寸大约为4-80nm,平均粒径27.4nm。 相炳坤 左敦稳 李多生 陈荣发