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教育部“新世纪优秀人才支持计划”(MCET-07-0122)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：孙俘赵英杰钟景昌侯立峰郝永芹更多>>
相关机构：长春理工大学中国人民解放军装甲兵技术学院更多>>
发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇湿法
  • 1篇湿法氧化
  • 1篇腔面
  • 1篇面发射
  • 1篇面发射激光器
  • 1篇激光
  • 1篇激光器
  • 1篇发射激光器
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体技术
  • 1篇垂直腔
  • 1篇垂直腔面
  • 1篇垂直腔面发射
  • 1篇垂直腔面发射...

机构

  • 1篇长春理工大学
  • 1篇中国人民解放...

作者

  • 1篇冯源
  • 1篇郝永芹
  • 1篇侯立峰
  • 1篇钟景昌
  • 1篇赵英杰
  • 1篇孙俘

传媒

  • 1篇兵工学报

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
808nm垂直腔面发射激光器湿法氧化工艺的研究被引量：2
2010年
为提高808 nm垂直腔面发射半导体激光器(VCSEL)的输出功率与电光转换效率,对其湿法氧化工艺进行了实验研究。采用扫描电镜(SEM)的微区分析功能,对样品氧化层按不同的氧化深度进行微区分析。微区分析结果表明:适当降低氧化温度,延长氧化时间,可减小氧化限制孔径的控制误差,提高氧化工艺的准确性;氧化后对样品进行高温加热处理,可减少氧化层中的As含量,改善氧化层的质量,提高氧化工艺的热稳定性。
侯立峰钟景昌孙俘赵英杰郝永芹冯源
关键词：半导体技术垂直腔面发射激光器湿法氧化
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