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山西省基础研究计划项目(20100210023-6)

作品数：4 被引量：6H指数：2
相关作者：丑修建张文栋杜妙璇关新锋耿文平更多>>
相关机构：中北大学更多>>
发文基金：山西省基础研究计划项目国家自然科学基金中国博士后科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术电子电信更多>>

文献类型

  • 4篇中文期刊文章

领域

  • 3篇一般工业技术
  • 1篇电子电信

主题

  • 3篇硅基
  • 2篇溶胶
  • 2篇ZR
  • 1篇电场
  • 1篇电流
  • 1篇电流密度
  • 1篇电性能
  • 1篇电学
  • 1篇电学特性
  • 1篇多步
  • 1篇溶胶-凝胶
  • 1篇退火
  • 1篇退火工艺
  • 1篇凝胶法
  • 1篇微悬臂梁
  • 1篇温度场
  • 1篇相变
  • 1篇介电
  • 1篇介电性
  • 1篇介电性能

机构

  • 4篇中北大学

作者

  • 4篇丑修建
  • 3篇张文栋
  • 2篇关新锋
  • 2篇耿文平
  • 2篇杜妙璇
  • 1篇刘俊
  • 1篇杨玉华
  • 1篇赵振宇
  • 1篇卢荻

传媒

  • 1篇功能材料
  • 1篇测试技术学报
  • 1篇电子元件与材...
  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 3篇2012
  • 1篇2010
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
多步退火对(Pb,La)(Zr,Ti)O3反铁电厚膜的影响
2012年
采用溶胶-凝胶技术,在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)基底上制备Pb0.97La0.02(Zr0.95Ti0.05)O3反铁电厚膜材料,研究了单步和多步退火工艺对反铁电厚膜结构及电学性能的影响。结果表明:与传统的单步退火方式相比,多步退火工艺制备的反铁电厚膜材料晶粒尺寸较大,结构致密性好,室温下反铁电态更稳定,具有良好的择优取向度(100)、较高的介电常数(达529)和饱和极化强度(达42μC/cm2)。其反铁电-铁电和铁电-反铁电的相变电场强度分别为198和89 kV/cm,反铁电-铁电相变电流密度达2×10-5 A/cm2,多次退火工艺可提高反铁电厚膜的成膜质量。
杜妙璇耿文平丑修建张文栋
关键词：溶胶-凝胶退火工艺电学特性
温度场和电场调控硅基反铁电厚膜相变电流特性研究被引量：2
2012年
采用溶胶-凝胶技术,在Pt(111)/Ti/SiO2/Si衬底上制备了高(100)取向生长、表面平整且结构致密的(Pb,La)(Zr,Ti)O3反铁电厚膜,研究了温度场和电场对(Pb,La)(Zr,Ti)O3反铁电厚膜电学性能的影响。实验结果表明反铁电厚膜在温度场和电场作用下发生反铁电相、铁电相和顺电相的相互转变,随外加电场增加,反铁电-铁电相变温度逐渐减小,介电常数峰值由2410减小到662,相变电流密度值由2.21×10-7A/cm2增大到8.52×10-7 A/cm2;随外加温度场增加,反铁电-铁电相变电场强度逐渐减小,饱和极化强度由39μC/cm2减小到31μC/cm2,相变电流密度值由2.89×10-5 A/cm2减小到8.8×10-6 A/cm2,温度场和电场可实现对反铁电厚膜相变电流效应的有效调控。
杨玉华杜妙璇关新锋丑修建张文栋
关键词：相变电流密度电场
硅基(Pb,La)(Zr,Ti)O_3反铁电厚膜的制备及介电性能
2012年
采用溶胶–凝胶工艺制备了具有高度(100)择优取向的(Pb,La)(Zr,Ti)O3反铁电厚膜(厚约2.2μm)。研究了该反铁电厚膜在不同温度下的电场诱导相变效应和不同电场强度下的温度诱导相变效应。结果表明:(Pb,La)(Zr,Ti)O3反铁电厚膜在室温下处于反铁电态;随着温度升高,厚膜的相变开关电场强度逐渐降低,反铁电态越来越不稳定,当温度高于132℃且电场强度为0 kV/cm时,厚膜处于顺电态;随着外加电场强度的增大,厚膜的AFE(反铁电态)-FE(铁电态)相变温度向低温方向漂移,当电场强度大于164 kV/cm时,厚膜在室温下已处于铁电态。
耿文平丑修建吕勇博关新锋张文栋
关键词：介电性能
硅基反铁电薄膜微悬臂梁力学仿真分析被引量：4
2010年
采用双层微悬臂梁理论模型,对基于反铁电薄膜微悬臂梁驱动构件的力学行为进行分析研究.以反铁电薄膜材料体积应变=ε0.8%为设定量,实现硅基反铁电薄膜微悬臂梁结构的应变-应力载荷转化,运用AN SY S11.0对基于反铁电薄膜应变效应的硅基微悬臂梁结构进行了静态分析、模态分析和谐响应分析,通过对此微驱动结构的优化设计、仿真,得出了不同几何参数硅基微悬臂梁构件的挠度和谐振频率.从而无需进行大量的工艺流片,为大量程的微悬臂梁驱动构件的设计加工提供指导意义.
赵振宇卢荻丑修建刘俊
关键词：微悬臂梁
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