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International Foundation for Science(51074080)

作品数：1 被引量：18H指数：1
相关作者：喻利花曹峻许俊华更多>>
相关机构：江苏科技大学更多>>
发文基金：江苏省普通高校研究生科研创新计划项目江苏省自然科学基金International Foundation for Science更多>>
相关领域：一般工业技术金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇微结构
  • 1篇微结构与性能
  • 1篇溅射
  • 1篇溅射制备
  • 1篇复合膜
  • 1篇TICN
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇磁控溅射制备

机构

  • 1篇江苏科技大学

作者

  • 1篇许俊华
  • 1篇曹峻
  • 1篇喻利花

传媒

  • 1篇中国有色金属...

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
磁控溅射制备TiCN复合膜的微结构与性能被引量：18
2012年
通过磁控溅射技术制备一系列不同石墨靶功率的TiCN复合膜。分别利用X射线衍射仪、纳米压痕仪和高温摩擦磨损仪研究薄膜的微观结构、力学性能及室温和高温摩擦磨损性能。结果表明：随着石墨靶功率的增加,TiCN（111）峰逐渐宽化,晶粒尺寸逐渐减小,薄膜最后接近非晶结构。薄膜的硬度与弹性模量呈先增大后减小的趋势,在石墨靶功率为90 W时薄膜的硬度和弹性模量最大,分别为28.2和230 GPa。随着石墨靶功率的增加,室温下TiCN复合膜的摩擦因数逐渐减小,TiCN复合膜的耐磨性能明显提高。当环境温度升高到300~500℃时,TiCN薄膜的摩擦因数明显增大。TiCN复合膜的摩擦磨损性能受薄膜微观结构、空气中的水蒸气和氧气及环境温度等一系列因素的影响。
许俊华曹峻喻利花
关键词：磁控溅射微结构
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