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江苏省光子制造科学与技术重点实验室开放基金(GZ201103)

作品数：1 被引量：3H指数：1
相关作者：袁铁军张红蕾张广冬更多>>
相关机构：盐城工学院更多>>
发文基金：江苏省光子制造科学与技术重点实验室开放基金更多>>
相关领域：机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇双面研磨
  • 1篇碳化硅
  • 1篇碳化硅衬底
  • 1篇精密加工技术
  • 1篇化学机械抛光
  • 1篇机械抛光
  • 1篇硅衬底
  • 1篇ELID磨削
  • 1篇超光滑
  • 1篇超光滑表面
  • 1篇超精
  • 1篇超精密
  • 1篇超精密加工
  • 1篇超精密加工技...
  • 1篇衬底

机构

  • 1篇盐城工学院

作者

  • 1篇张广冬
  • 1篇张红蕾
  • 1篇袁铁军

传媒

  • 1篇现代制造工程

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
碳化硅衬底超精密加工技术被引量：3
2012年
通过对比不同的加工方法获得最佳工艺:切片采用多线切割或者多线切割与超声切割相结合;磨削采用双面研磨获得较低翘曲度的表面或ELID磨削实现高速、高效、高质量磨削;抛光工艺使用化学机械抛光方法,通过粗抛提高加工效率,精抛提高表面质量,从而获得超光滑表面。分析了碳化硅衬底加工存在的问题并指出超精密加工的发展趋势。
袁铁军张红蕾张广冬
关键词：双面研磨ELID磨削化学机械抛光超光滑表面
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共1页<1>
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