国家高技术研究发展计划(2004AA420040-2)
- 作品数：2 被引量：17H指数：2
- 相关作者：刘云徐德王秀青谭民李庆涛更多>>
- 相关机构：中国科学院自动化研究所中国科学院大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 基于PLC的大范围运动与高精度对准控制被引量：3
- 2007年
- 针对掩模版传输过程中的大范围运动与高精度对准这两个关键问题,本文采用基于PLC的全闭环位置控制方法,设计了用于掩模版传输和对准的机械手控制系统。对于大范围运动,利用旋转编码器和光栅尺检测机械手的速度和位移,构成三闭环控制系统。对于高精度对准,利用四象限探测器检测掩模版位置与姿态偏差,构成四闭环控制系统。实验结果表明,利用本文控制系统,机械手在大范围传输和高精度对准时的速度和精度都可以满足生产要求。
- 李庆涛徐德刘云汪建华
- 关键词：运动控制器四象限探测器
- 一种基于四象限光电探测器的对准新方法被引量：14
- 2006年
- 在分析四象限光电探测器工作原理的基础上,提出了一种利用2个四象限光电探测器实现掩模板对准的新方法。激光器与四象限探测器位置固定,掩模板处于激光器与四象限探测器之间。透过掩模板上的2个透光米字形标记,激光光束照射到四象限探测器的光敏面。根据2个四象限探测器的输出,计算出掩模板的位置和姿态偏差,通过运动平台调整掩模板的位置和姿态,实现对准。
- 王秀青徐德谭民刘云
- 关键词：掩模板
