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国家高技术研究发展计划(2003AA404080)

作品数：1 被引量：7H指数：1
相关作者：倪林梅涛单建华孔德义更多>>
相关机构：中国科学院更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇MEMS技术

机构

  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇孔德义
  • 1篇单建华
  • 1篇梅涛
  • 1篇倪林

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
一种柔性三维力触觉传感器阵列的实现方法被引量：7
2007年
介绍了一种可安装在曲面上,对三维力进行检测的柔性三维力触觉传感器阵列的实现方法.首先采用MEMS技术制备三维力触觉传感器阵列,再将多个三维力触觉传感器单元分别通过倒装焊技术集成在已加工好的柔性电路板基底上,实现了传感器与信号处理电路的互连和传感器阵列(4×4)的柔性化.采用信号选通的多路信号采集方法简化了传感器阵列的信号处理电路.测试结果表明,柔性触觉传感器阵列可弯曲变形90°以上,检测三维力的分辨率达到0.1 N.
张正勇孔德义梅涛单建华倪林孙磊吕晓庆孟庆虎
关键词：MEMS技术
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