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国家自然科学基金(10374360)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：俞琳戴瑛刘东红闫翠霞龙闰更多>>
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相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇欧姆接触
  • 1篇金属

机构

  • 1篇山东大学

作者

  • 1篇龙闰
  • 1篇闫翠霞
  • 1篇刘东红
  • 1篇戴瑛
  • 1篇俞琳

传媒

  • 1篇半导体技术

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
p型金刚石欧姆接触的研究被引量：2
2006年
金刚石的欧姆接触是制造半导体器件的关键技术之一。简要综述了近年来p型金刚石制备欧姆接触的研究进展,结合器件的发展和实际工艺的要求,讨论了改善欧姆接触特性的途径和方法,指出目前存在急需解决的一些问题。
龙闰戴瑛刘东红俞琳闫翠霞
关键词：欧姆接触金属
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