中国博士后科学基金(200902664)
- 作品数：1 被引量：10H指数：1
- 相关作者：陈善勇戴一帆廖文林周林更多>>
- 相关机构：国防科技大学更多>>
- 发文基金：中国博士后科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信金属学及工艺更多>>
- 离子束作用下的光学表面粗糙度演变研究被引量：10
- 2010年
- 为了获得超光滑光学表面,介绍了离子束作用下改善表面粗糙度的抛光方法,并通过相关的实验进行了验证。光学材料是典型的硬脆材料,在加工过程中的表面粗糙度要经历复杂的演变过程。离子束加工作为光学镜面加工中的最后一道工序,如果在修正面形的同时,能够有效地改善表面粗糙度,那么离子束加工的性能就可以得到更好的延伸。分析了离子束作用下的粗糙度演变机理,在此基础上提出了倾斜入射抛光和牺牲层抛光技术2种改善表面粗糙度的方法,并使用原子力显微镜进行了测量。实验结果表明:以45°倾斜入射抛光熔石英样件,其粗糙度由初始的0.67 nm RMS减小到0.38 nm RMS;涂上牺牲层的材料表面粗糙度由0.81 nm RMS减小到0.28 nm RMS,倾斜入射抛光和牺牲层抛光技术能够有效地改善表面粗糙度。
- 廖文林戴一帆周林陈善勇
