国家自然科学基金(50775088)
- 作品数：6 被引量：73H指数：5
- 相关作者：周云飞穆海华周艳红滕伟侯伯杰更多>>
- 相关机构：华中科技大学郑州大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国博士后科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电气工程电子电信更多>>
- 洛仑兹电机运动控制耦合机理分析及动力学建模被引量：17
- 2009年
- 长行程永磁直线电机粗动与短行程洛仑兹电机微动构成的复合运动可满足工作台的纳米级定位精度和跟踪精度要求,其中微动台是工作台纳米精度实现的核心,运动控制存在内部干扰耦合。该文分析洛仑兹电机运动控制的内部耦合因素及机理,建立耦合机理模型;针对位置相关性耦合与力相关性耦合,分别推导对应的耦合动力学模型,并采用简化原则进行简化;结合耦合机理模型与动力学模型,提出洛仑兹电机运动控制的总动力学模型。实验结果证明了简化模型的可行性和有效性。
- 穆海华周云飞周艳红
- 关键词：动力学模型
- 直线电机齿槽推力波动的标定与补偿方法被引量：6
- 2009年
- 为减小直线电机齿槽推力波动对运动性能的影响,依据齿槽推力波动固有特性,提出基于PID位置控制的齿槽推力波动标定方法及其位置函数构造方法。采用线性插值计算方法建立齿槽推力波动的前馈补偿控制模型,并给出齿槽推力波动的标定结果,对比齿槽推力前馈补偿前后的位置跟踪误差。实验获得的齿槽推力波动幅值为±12 N,前馈补偿前后的位置跟踪误差分别为±48μm和±10μm。实际结果表明采用所提方法可提高电机的运动精度和性能。
- 穆海华周云飞温新周艳红
- 关键词：直线电机前馈补偿插值
- 光刻机步进扫描运动轨迹重叠规划算法被引量：2
- 2010年
- 研究一种步进扫描投影光刻机的步进运动与扫描运动的轨迹重叠规划算法。根据给定的系统动力学约束,以保证最大加速度与最大速度不超限为目标,建立步进运动与扫描运动轨迹重叠规划的约束基准。依据该基准,分析步进运动与扫描运动轨迹重叠规划的各种可能情形,推导在最大程度上缩短运动执行时间的轨迹拐点调整计算公式。以此为基础,提出步进运动与扫描运动的轨迹重叠规划算法。通过仿真计算验证算法的正确性与有效性。实际应用证明该算法能在保证运动精度基础上,极大地提高生产率。该算法已被100 nm步进扫描投影光刻机工作台超精密运动控制系统所采用。
- 穆海华周云飞周艳红
- 超精密运动台激光测量模型及误差补偿算法被引量：17
- 2009年
- 分析激光测量中阿贝误差与余弦误差产生的原因,分两种情况讨论阿贝误差与余弦误差对测量光程的影响:一是忽略激光干涉仪加工误差与安装误差的理想模型;二是考虑干涉仪加工误差与安装误差的非理想模型。计算两种情况下测量光束的光程长度,建立x、y方向直线测量位置不受运动台倾斜或旋转影响的测量模型,进而推导出运动台五自由度激光测量算法。实例证明该算法能有效地进行阿贝误差与余弦误差补偿,满足超精密运动的要求。该算法已成功应用于半导体加工设备中。
- 滕伟周云飞穆海华杨亮亮
- 关键词：激光测量阿贝误差误差补偿
- 升降速曲线对直线电机系统性能影响的研究被引量：6
- 2010年
- 对一次速度曲线升降速、二次速度曲线升降速、三次速度曲线升降速以及三角函数速度曲线升降速曲线进行了分析,并对后3种升降速曲线对运动控制系统加/减速时间、定位精度等性能的影响分别进行了研究。利用Matlab仿真证明二次速度曲线是目前最适用于高速高精直线电机运动控制系统的加/减速曲线,并在带前馈的直线电机伺服实验平台上进行了验证实验。
- 侯伯杰周云飞李小清
- 关键词：直线电机高速高精
- 直线电机伺服系统的复合前馈PID控制被引量：35
- 2009年
- 提出了将复合前馈引入到直线电机伺服系统的控制方法,缩短了系统的调整时间并减小了系统的超调量,从而较好地解决了高速与高精的矛盾。通过MATLAB仿真和实验验证了该方法是可行的。
- 侯伯杰李小清周云飞滕伟
- 关键词：直线电机PID控制高速高精超调量
