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张家口市科学技术研究与发展计划项目(1101012B)
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相关作者:
孟旭东
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河北北方学院
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张家口市科学技术研究与发展计划项目
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纳米SiCN薄膜的制备和光致发光
2013年
采用磁控溅射技术制备了SiCN薄膜,利用傅里叶红外光谱仪、扫描探针显微镜、荧光分光光度计对薄膜结构、表面形貌、光致发光进行了表征。结果表明SiCN薄膜有良好的发光性质,通过对薄膜的红外光谱及光致发光谱分析可知,当氩气和氮气流量比为4:1时,最有利于SiCN薄膜的生成,PL发光峰强度也达到最大值,SiCN薄膜的光发射主要来源于带-带直接辐射复合及导带底到缺陷态辐射跃迁。
孟旭东
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磁控溅射
光致发光
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