国家自然科学基金(50601010)
- 作品数：2 被引量：7H指数：2
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- PIII&D复合强化处理轴承钢表面TiN膜层的XPS表征
- 用等离子体浸没离子注入与沉积(PⅢ&D)复合强化新技术在AISI52100轴承钢基体表面合成了硬而耐磨的氮化钛薄膜。膜层表面的化学组成和相结构分别用X射线衍射(XRD)和X射线光电子能谱(XPS)表征;膜层表面的原子力显...
- 刘洪喜蒋业华周荣杨天武汤宝寅
- 关键词：XPS分析氮化钛薄膜
- 文献传递
- PIIID复合强化处理轴承钢表面TiN膜层的XPS表征被引量：4
- 2009年
- 用等离子体浸没离子注入与沉积(PIIID)复合强化新技术在AISI52100轴承钢基体表面成功合成了硬而耐磨的氮化钛薄膜。膜层表面的化学组成和相结构分别用X射线衍射(XRD)和X射线光电子能谱(XPS)表征;膜层表面的原子力显微镜(AFM)形貌显示出TiN膜结晶完整,结构致密均匀。XRD测试结果表明,TiN在(200)晶面衍射峰最强,具有择优取向。Ti(2p)的XPS谱峰泰勒拟合分析揭示出,Ti(2p1/2)峰和Ti2p3/2峰均有双峰出现,表明氮化物中的Ti至少存在不同的化学状态;N(1s)的XPS谱峰在396.51,397.22和399.01 eV附近出现了三个分峰,分别对应于TiNxOy,TiN和N—N键中的氮原子。结合O(1s)的XPS结果,证实膜层中除生成有稳定的TiN相外,还有少量钛的氧化物和未参与反应的单质氮。整个膜层是由TiN,TiO2,Ti—O—N化合物和少量单质氮组成的复合体系。
- 刘洪喜蒋业华詹兆麟汤宝寅
- 关键词：XPS分析氮化钛薄膜轴承钢
- 离子注入与沉积TiN膜层中的残余应力被引量：3
- 2008年
- 利用掠入射X射线衍射(GIAXRD)研究了GCr15轴承钢表面等离子体浸没离子注入与沉积(PIII&D)氮化钛(TiN)薄膜后膜层表面的应力状态。用X射线衍射(XRD)分析了处理后膜层的化学组成。探讨了薄膜厚度和掠入射角对表面膜层中应力变化规律的影响。结果表明,表面膜层中主要存在TiN相,同时含有少量的TiO2和钛氮氧的化合物。不同工艺下,TiN/GCr15轴承钢试样表面膜层中存在的应力均为压应力;且应力值随着掠入射角度的增大而减小,随着薄膜厚度的增加而降低。
- 刘洪喜蒋业华周荣冷崇燕汤宝寅
- 关键词：TIN薄膜残余应力GCR15钢
- PIII&D合成类金刚石碳膜的Raman光谱分析
- 用等离子体浸没离子注入与沉积(PIII&D)复合强化新技术在AISI440C不锈钢基体表面合成了无氢类金刚石(α-C)和含氢类金刚石(α-C:H)碳膜。膜层表面的原子力显微镜(AFM)形貌显示出DLC膜结晶完整,结构致密...
- 刘洪喜周荣蒋业华史海霞汤宝寅
- 关键词：RAMAN光谱
- 文献传递
