您的位置： 专家智库 > >

陕西省科学技术研究发展计划项目(2007K05-04)

作品数：1 被引量：3H指数：1
相关作者：郭灿杨川更多>>
相关机构：西安交通大学更多>>
发文基金：陕西省科学技术研究发展计划项目国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇氮化
  • 1篇氮化钛
  • 1篇压力传感器
  • 1篇微机电系统
  • 1篇谐振式压力传...
  • 1篇力传感器
  • 1篇机电系统
  • 1篇感器
  • 1篇MEMS
  • 1篇传感
  • 1篇传感器
  • 1篇电系统

机构

  • 1篇西安交通大学

作者

  • 1篇杨川
  • 1篇郭灿

传媒

  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
MEMS氮化钛谐振式压力传感器研究被引量：3
2010年
提出了一种基于TiN双谐振梁结构的MEMS谐振式压力传感器,利用TiN谐振梁的谐振频率与被测压力的关系进行压力测量。针对传感器的敏感结构建立了数学模型,通过理论分析和ANSYS有限元软件的模拟,得出了谐振梁长度的变化范围和谐振梁的结构参数,并确定了TiN谐振梁在矩形压力膜上方的最佳位置。这对传感器的结构设计具有重要的指导意义。
杨川郭灿
关键词：微机电系统氮化钛谐振式压力传感器
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0