国防科技重点实验室基金(514910501005DZ-0201)
- 作品数:1 被引量:1H指数:1
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- 脉冲激光微细加工曝光区温度的不接触测量被引量:1
- 2007年
- 针对大功率脉冲激光微细加工区域工作激光对辐射测温的影响,提出在周期脉冲激光的间隙内提取温度信号的新方法,应用采样保持原理,研制相应的测量系统,通过温度定标,从A/D采样值直接读取温度值。结果表明,该温度测量系统能有效地消除工作激光对温度测量的干扰,准确地测量曝光区域的温度,在温度为500℃左右时,系统的温度分辨能力可达0.03℃,能满足激光扩散、激光合金等工艺要求。
- 王小林王昱林徐攀叶玉堂吴云峰刘霖范超焦世龙
- 关键词:采样保持