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江苏省博士后科研资助计划项目(0802025B)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：吴小军林欢庆卢文壮徐锋左敦稳更多>>
相关机构：南京航空航天大学更多>>
发文基金：中国博士后科学基金江苏省博士后科研资助计划项目江苏省自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇热丝
  • 1篇热丝化学气相...
  • 1篇小型化
  • 1篇金刚石膜
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇CVD金刚石...

机构

  • 1篇南京航空航天...

作者

  • 1篇左敦稳
  • 1篇徐锋
  • 1篇卢文壮
  • 1篇林欢庆
  • 1篇吴小军

传媒

  • 1篇机械制造与自...

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
小型化热丝CVD金刚石膜沉积设备的研究与开发被引量：1
2010年
对传统HFCVD金刚石膜沉积设备进行小型化改进,分析了传统沉积设备在真空系统和衬底机构结构上的不足之处;介绍了小型化CVD金刚石膜沉积设备的系统构成;详细描述了该小型化设备的真空系统和衬底摆动机构。该系统具有均匀的表面温度场和很高的运行稳定性,可以用于纳米金刚石薄膜和金刚石厚膜的沉积,制备的纳米金刚石薄膜晶粒大小基本上都在200 nm以下,纳米硬度为（450-700）GPa;沉积的金刚石厚膜直径达93 mm,晶粒完整均匀。
吴小军左敦稳徐锋卢文壮林欢庆
关键词：CVD金刚石膜小型化热丝化学气相沉积
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