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中央级公益性科研院所基本科研业务费专项(Y1034-053)
作品数:
1
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相关作者:
卢占毫
陆永华
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相关机构:
南京航空航天大学
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发文基金:
中国航空科学基金
国家自然科学基金
中央级公益性科研院所基本科研业务费专项
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相关领域:
自动化与计算机技术
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陆永华
1篇
卢占毫
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中国机械工程
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1篇
2012
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微纳牛级力检测的球膜敏感元件力学分析
2012年
为了实现工业技术领域的微纳牛级力大小的精确测量,以厚度约700nm、直径50mm左右的球形薄膜为敏感元件,将微纳牛级待测微粒置于球膜上,根据球膜变形量得出被测微粒的重力大小;利用ANSYS建立球形薄膜的力学模型,根据正交试验法设计试验工况,对球膜进行多种工况的受力分析;采用奇异值分解的最小二乘拟合算法处理试验数据,得出变形量、球膜参数以及微粒子重力之间的拟合公式;将拟合公式计算出的变形量理论值与对应试验值进行比较,结果表明:载荷在2~10μN范围内,检测误差不超过1%。
卢占毫
陆永华
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