国家自然科学基金(60906050)
- 作品数：1 被引量：1H指数：1
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- PEM老炼过程中的温度闭环控制系统被引量：1
- 2016年
- 当前,老炼仍被广泛应用于塑封微电路(PEM)的可靠性保证。为了解决老炼过程中存在的热失控及温度不一致的问题,该文设计了一套温度闭环控制系统。在由老炼箱自身装置提供箱内基础温度的基础上,设计的温度闭环控制系统以每个封装夹具内的微环境为控制对象,采用模糊自适应算法,最优配置比例积分(PI)控制器的控制参数,最终驱动执行器,对被老炼器件及时加热或散热。通过试验证实,老炼过程中加入温度闭环控制系统后,被测器件的温度在更短的时间内(20min)达到稳态,稳态精度控制在1℃以内,且被测器件温度的差异由2℃降低到基本一致。而后,当系统采用模糊自适应控制算法后,系统的动态响应时间更短,抗干扰能力更强。因此,该系统达到了防止器件热失控及保证不同器件间温度一致的目的。
- 白冰王伟明李青峰李路明
- 关键词：塑封微电路老炼可靠性
