浙江省自然科学基金(Y105610)
- 作品数：3 被引量：169H指数：2
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- 蓝宝石衬底研磨加工中研磨盘材质的影响被引量：10
- 2009年
- 采用W14、W3.5的B4C磨粒对蓝宝石衬底进行粗研磨和精密研磨的试验研究。对比分析铸铁、合成铜和合成锡盘粗研磨蓝宝石衬底的表面粗糙度和研磨表面均匀性,试验结果表明,铸铁研磨盘获得的蓝宝石衬底宏观表面均匀性和平面度均优于合成铜盘和合成锡盘,经铸铁研磨盘加工后的蓝宝石衬底面型峰谷值误差小于5μm、中心线平均表面粗糙度Ra<0.82μm。精密研磨试验结果表明,采用合成铜盘和W3.5B4C磨粒有效地改善了蓝宝石衬底表面的均匀性,获得了Ra<20nm、面型峰谷值误差小于1.6μm的均匀表面,为蓝宝石的超精密研磨奠定了良好的基础。
- 文东辉鲁聪达周兆忠
- 关键词：蓝宝石衬底研磨盘表面粗糙度
- 半固着磨具孔隙率的理论分析及验证
- 2009年
- 在分析划痕对加工效率的影响及对比游离磨粒、半固着磨粒加工特点的基础上,对半固着磨具中产生陷阱效应的重要参数之一——孔隙率进行了研究分析。建立了圆形磨具与直线边界和圆形边界的接触模型,分析了最大量纲一重叠深度与量纲一法向力/法向弹性接触刚度比值的关系。研究结果表明:圆形磨粒之间的接触状态远远优于圆形磨粒与直线边界的接触状态;半固着磨具成形后的直线接触边界需要经过修整来提高其整体性能;理论计算孔隙率与实测表层孔隙率比较接近;半固着磨具的抗剪强度可以满足研磨、抛光工艺的技术要求。
- 文东辉洪滔吕迅袁巨龙
- 关键词：半固着磨具孔隙率
- 超精密加工现状综述被引量：159
- 2007年
- 超精密加工是获得高形状精度、表面精度和表面完整性的必要手段。精密光学、机械、电子系统中所用的先进陶瓷或光学玻璃元件通常需要非常高的形状精度和表面精度(如0.1nm级表面粗糙度)及较小的加工变质层。掌握超精密加工过程中材料去除规律和损伤层特性对提高加工的稳定性与经济性十分重要。对超精密加工中的超精密切削、超精密磨削和超精密研磨抛光技术进行综述,重点介绍各种典型加工方法及其材料去除机理。从加工精度和加工效率角度对上述几类超精密加工方法进行比较,介绍以实现高效精密加工为目的的半固着磨粒加工技术。对超精密加工的发展趋势进行预测。
- 袁巨龙王志伟文东辉吕冰海戴勇
- 关键词：超精密加工
