天津市科技计划(07ZCGHHZ01500)
- 作品数：10 被引量：18H指数：3
- 相关作者：李德军邓湘云亢原彬王晖刘思鹏更多>>
- 相关机构：天津师范大学天津电子信息职业技术学院更多>>
- 发文基金：天津市科技计划国家自然科学基金天津市应用基础与前沿技术研究计划更多>>
- 相关领域：金属学及工艺一般工业技术理学更多>>
- 调制周期对TiB_2/TiAlN纳米多层膜机械性能的影响被引量：4
- 2008年
- 利用射频磁控溅射技术,在室温下合成了具有纳米调制周期的TiB2/TiAlN多层膜。分别采用表面轮廓仪、纳米力学测试系统、多功能材料表面性能实验仪和XRD,分析了调制周期对TiB2/TiAlN纳米多层膜机械性能的影响。结果表明:大部分多层膜的纳米硬度和弹性模量值都高于两种个体材料混合相的值,在调制周期为25nm时,多层膜体系的硬度超过了36GPa,性能达到较佳效果。
- 刘思鹏亢原彬王晖李德军邓湘云
- 关键词：射频磁控溅射调制周期
- 离子束流和基底温度对ZrN/TiAlN纳米多层膜性能的影响被引量：5
- 2008年
- 本文利用高真空离子束辅助沉积系统(IBAD),在室温下制备了ZrN、TiAlN和一系列ZrN/TiAlN纳米多层膜,利用XRD、纳米力学测试系统和多功能材料表面性能实验仪,分析了束流和基底温度对薄膜的微结构和机械性能的影响。结果表明:大部分多层膜的纳米硬度与弹性模量值都高于两种个体材料硬度的平均值,当辅助束流为5mA时,多层膜硬度达到30.6GPa。基底温度的升高,会显著降低薄膜的残余应力,但对薄膜的硬度,摩擦系数没有明显影响。
- 曹猛李强杨莹邓湘云李德军
- 关键词：离子束辅助沉积基底温度
- TiB_2/Si_3N_4纳米多层膜的制备及其结构和性能分析被引量：3
- 2010年
- 利用超高真空离子束辅助沉积(IBAD)系统,在225℃条件下,制备一系列TiB2/Si3N4纳米多层膜,通过X射线衍射(XRD)仪、表面轮廓仪、原子力显微镜(AFM)和纳米力学测试系统分析该体系合成中调制比对多层膜结构和机械性能的影响.结果表明:一定条件下制备的多层膜其纳米硬度值高于两种个体材料混合相的硬度值;当调制比为15∶1,调制周期为(13±1)nm时,结晶出现多元化,多层膜体系的硬度、应力、弹性模量和膜基结合性能均达到最佳.多层膜机械性能的明显改善与其多层结构和多晶结构存在直接联系.实验证明通过选择合适的个体层材料、厚度以及调制比等条件,制备具有高硬度、低应力和良好膜基结合力的纳米多层膜是可以实现的.
- 董磊刘广庆孙延东龚杰刘孟寅李德军
- 关键词：离子束辅助沉积
- TiB2/TiN纳米多层膜界面的第一性原理研究
- 进入20世纪90年代,人们通过多层涂层设计,使薄膜的综合性能进一步提高。而纳米多层薄膜的出现使薄膜的研究进入了新的领域,引起了研究人员的广泛关注。然而, 在纳米多层膜的研究中,界面特征始终是难点,也正是界面结构和性能决定...
- 李强邓湘云李德军
- 关键词：第一性原理密度泛函
- 文献传递
- 调制周期对ZrB_2/WNx纳米多层膜的机械性能和结构的影响
- 2010年
- 本文利用高真空离子束辅助沉积系统(IBAD)在室温下制备了ZrB2、WNx和一系列ZrB2/WNx纳米多层膜,利用XRD、SEM、XP-2台阶仪、纳米力学测试系统表征了薄膜的微结构和机械性能,分析了调制周期对薄膜结构与机械性能的影响。结果表明:ZrB2具有典型的六角相及WNx为六方与立方混合相结构,ZrB2/WNx的多层膜则呈现多晶结构。所有多层膜的纳米硬度与弹性模量值都高于两种个体单层膜材料值。当调制周期Λ=9.6 nm,轰击能量为200 eV时,ZrB2/WNx的多层膜显示出最高的硬度(30.2 GPa)和弹性模量,内应力和划痕测试等机械性能也取得较好的结果。
- 刘广庆刘孟寅龚杰孙延东李德军
- 关键词：离子辅助沉积调制周期
- 调制周期对ZrB2/BN纳米多层膜结构和性能的影响
- 利用高真空离子束溅射沉积系统在室温下制备了ZrB、BN和一系列ZrB/BN纳米多层膜,利用XRD、接触角测定仪、表面轮廓仪以及纳米力学测试系统等仪器分析了调制周期对薄膜的晶体结构和机械性能的影响。结果表明:多层膜具有周期...
- 金上校曹猛邓湘云李德军
- 关键词：离子束溅射纳米多层膜
- 文献传递
- 调制周期对ZrB2/AlN纳米多层膜结构和机械性能的影响
- 利用高真空离子束辅助沉积系统(IBAD)在室温下制备了ZrB
- 谭明曹猛梁金岭邓湘云李德军
- 关键词：离子束辅助沉积调制周期
- 文献传递
- 工作气压对ZrB2/W纳米多层薄膜结构和机械性能的影响
- 利用超高真空射频磁控溅射系统制备了一系列的ZrB/W多层薄膜。通过XRD、纳米力学测试系统和表面轮廓仪分析了该体系合成中工作气压对多层膜结构与机械性能的影响。结果表明,多层膜的纳米硬度值都高于两种个体材料的硬度值;当工作...
- 亢原彬吴景波邓湘云李德军
- 关键词：射频磁控溅射工作气压
- 文献传递
- 调制比对ZrB2/ZrAIN纳米多层膜的结构与性能的影响
- 目前,多层薄膜的研究已引起工业界的广泛关注。过渡金属 Zr 的难熔化合物(ZrN、 ZrC、ZrB)因具有高熔点、高硬度等特性而广泛应用于耐磨材料。其中,ZrB薄膜已被证实具有高硬度,高熔点,极好的抗腐蚀性等特点而在高温...
- 亢原彬董磊李德军
- 关键词：磁控溅射
- 文献传递
- Ar/N_2气体比例对ZrN/WTiN纳米多层膜的影响
- 2010年
- 选择ZrN和WTi N作为个体层材料,利用超高真空射频磁控溅射系统制备ZrN,WTi N和一系列的ZrN/WTi N纳米多层薄膜.通过X射线衍射仪(XRD)和纳米力学测试系统分析制备参数中Ar/N2气体比例对多层膜结构与机械性能的影响.结果表明:多层膜的纳米硬度值普遍高于2种个体材料混合相的硬度值;当FAr∶FN2=5时,ZrN/WTi N纳米多层薄膜出现了ZrN(111),Ti N(111)衍射峰和非晶态,多层膜体系的硬度、应力和弹性模量均达到最佳效果.
- 王明霞李德军
- 关键词：射频磁控溅射
