您的位置： 专家智库 > >

国防基础科研计划(A1520070073)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：张延志王勤国管卫军赖新春更多>>
相关机构：表面物理与化学重点实验室更多>>
发文基金：国防基础科研计划更多>>
相关领域：金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 1篇射线衍射
  • 1篇膜厚
  • 1篇基材
  • 1篇厚度测量
  • 1篇薄膜厚度
  • 1篇X射线衍射

机构

  • 1篇表面物理与化...

作者

  • 1篇赖新春
  • 1篇管卫军
  • 1篇王勤国
  • 1篇张延志

传媒

  • 1篇无损检测

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
具有择优取向性的基材表面的薄膜厚度的X射线衍射测量修正
2009年
根据薄膜对X射线的吸收效应,利用X射线衍射方法可测量出多晶基材表面的薄膜厚度。但试验结果显示,基材的择优取向效应对薄膜厚度的测量影响显著。根据理论分析,提出了择优取向修正方法。在对X射线衍射数据进行择优取向修正后,利用最小二乘法对修正后的数据进行拟合。拟合结果显示,该方法可以有效地对基材的择优取向效应进行修正,从而获得较为准确的薄膜厚度值。
张延志赖新春管卫军王勤国
关键词：X射线衍射厚度测量基材
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0