上海大学生创新活动计划(CS1105016)
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- 304不锈钢表面Ta沉积膜N离子注入后的摩擦学性能
- 2013年
- 利用磁控溅射方法在304不锈钢表面沉积厚约100nm的钽膜,并对其进行氮等离子体基离子注入,注入能量为50keV,用掠射X线衍射(GXRD)分析了改性层的组成相结构,选取6mm的GCr15钢球作为对磨件,测试了处理后试样的磨损性能.研究结果表明:改性层含有钽的氮化物,注入剂量较低时,化合物为TaN0.1;随着注入剂量的增加,形成TaN.经过该处理后的304不锈钢磨损性能提高,磨损率降低幅度达到66.3%;摩擦因数有所降低,表面摩擦因数由未处理前的1.0～1.2下降至处理后的0.2～0.4.
- 潘辰林刁云华温静李忠文林文松
- 关键词：磁控溅射沉积氮离子注入
