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国家自然科学基金(5047190)

作品数：1 被引量：6H指数：1
相关作者：黑立富蒋开云耿春雷唐伟忠更多>>
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇淀积
  • 1篇气相淀积
  • 1篇金刚石
  • 1篇金刚石薄膜
  • 1篇化学气相淀积
  • 1篇刚石
  • 1篇薄膜沉积技术
  • 1篇CVD金刚石

机构

  • 1篇北京科技大学

作者

  • 1篇唐伟忠
  • 1篇耿春雷
  • 1篇蒋开云
  • 1篇黑立富

传媒

  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
线形微波等离子体CVD金刚石薄膜沉积技术被引量：6
2006年
本文将讨论一种新型的微波等离子体CVD设备———线形微波等离子体CVD设备和其在金刚石薄膜制备技术中的应用。利用Langmuir探针方法对线形微波等离子体CVD设备产生的H2等离子体进行的等离子体参数测量表明,在工频半波激励的条件下,H2等离子体的电子温度和等离子体密度分别约为6 eV和1×1010/cm3。尝试利用线形微波等离子体CVD设备,在直径为0.5 mm的小尺寸硬质合金微型钻头上进行了金刚石涂层的沉积,获得了质量良好的金刚石涂层。由于线形微波等离子体CVD设备产生的等离子体面积具有容易扩大的优点,因而在需要使用较大面积等离子体的场合,它将有着很好的应用前景。
唐伟忠蒋开云耿春雷黑立富
关键词：化学气相淀积金刚石薄膜
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