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山东省教育厅科技计划项目(J08LI05)
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
相关作者:
梁健
王书浩
孙欣
张文飞
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山东省教育厅科技计划项目
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2010
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高衍射效率金属介质膜光栅的设计及性能分析
被引量:2
2010年
基于严格耦合波理论,分析了金属介质膜光栅的衍射性能,以-1级衍射效率为评价函数,研究了表面浮雕结构分别为HfO2和Si O2材料的金属介质膜光栅,获得衍射效率优于99%的结构参数。数值计算表明,当顶层光栅结构为HfO2和Si O2的槽深分别为80nm和225 nm时,在1 053 nm处获得接近100%的衍射效率。
张文飞
孔伟金
云茂金
孙欣
梁健
席思星
王书浩
关键词:
耦合波
衍射效率
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