您的位置： 专家智库 > >

江苏省科技支撑计划项目(BE2009047)

作品数：1 被引量：10H指数：1
相关作者：汪海宾吴建宏刘全更多>>
相关机构：苏州大学江苏科技大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金江苏省科技支撑计划项目更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 1篇衍射
  • 1篇衍射光栅
  • 1篇衍射效率
  • 1篇全息
  • 1篇全息光刻
  • 1篇光栅

机构

  • 1篇江苏科技大学
  • 1篇苏州大学

作者

  • 1篇刘全
  • 1篇吴建宏
  • 1篇汪海宾

传媒

  • 1篇光学学报

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
Ar^+离子束刻蚀制作凸面闪耀光栅被引量：10
2011年
凸面闪耀光栅是研制高光谱分辨率超光谱成像系统的关键器件之一。由于要求的闪耀角度一般较小,制作工艺难度大,其衍射效率与理论值有较大差距,一直制约其应用。针对上述问题与难点进行了分析,通过光刻胶光栅掩模制作和Ar+离子束刻蚀等工艺制作了凸面闪耀光栅。针对离子束大掠入射刻蚀凸球面时槽形闪耀角不易一致的难题,利用转动扫描刻蚀实现了球面上的闪耀光栅刻蚀,最终制作出了约4.3°闪耀角的凸面闪耀光栅,在400～800nm波段范围内,其+1级衍射光效率均值达40%以上。
汪海宾刘全吴建宏
关键词：衍射光栅全息光刻衍射效率
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0