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甘肃省高等学校研究生导师科研项目计划(0913-06)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：张桂玲胥超张旭更多>>
相关机构：兰州大学甘肃联合大学更多>>
发文基金：甘肃省高等学校研究生导师科研项目计划更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇低阻
  • 1篇溅射
  • 1篇SI基
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇甘肃联合大学
  • 1篇兰州大学

作者

  • 1篇张旭
  • 1篇胥超
  • 1篇张桂玲

传媒

  • 1篇功能材料与器...

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
Si基有机光电探测器低阻欧姆电极制作被引量：2
2010年
在Si单晶表面真空沉积有机半导体材料苝四甲酸二酐(PTCDA)可形成有机/无机异质结。利用铟锡氧化物(ITO)沉积在PTCD表面作为光的入射窗口,在其表面溅射Al/Ni接触电极,在氢气保护气氛中经350℃,3分钟合金化,其比接触电阻ρs达5.2×10-5.cm2。利用α台阶仪,原子力显微镜,紫外可见分光光度计及x射线衍射仪,对其形成良好低阻欧姆电极的工艺条件及表面和界面进行了分析讨论。
张旭张桂玲胥超
关键词：磁控溅射
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