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国家教育部博士点基金(20060357003)

作品数:48 被引量:201H指数:7
相关作者:孙兆奇宋学萍吕建国孟凡明曹春斌更多>>
相关机构:安徽大学合肥师范学院安徽农业大学更多>>
发文基金:国家教育部博士点基金国家自然科学基金安徽省人才开发基金更多>>
相关领域:理学一般工业技术机械工程电子电信更多>>

文献类型

  • 48篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 44篇理学
  • 4篇机械工程
  • 4篇一般工业技术
  • 3篇电子电信

主题

  • 19篇溅射
  • 18篇磁控
  • 17篇磁控溅射
  • 13篇射频磁控
  • 13篇微结构
  • 12篇射频磁控溅射
  • 12篇光学
  • 9篇光学性
  • 7篇分形
  • 7篇TIO2薄膜
  • 6篇锐钛矿
  • 6篇退火
  • 6篇金红石
  • 6篇表面形貌
  • 5篇光谱
  • 5篇光学性能
  • 5篇多重分形谱
  • 5篇ITO薄膜
  • 4篇光学性质
  • 4篇TIO_2薄...

机构

  • 43篇安徽大学
  • 12篇合肥师范学院
  • 7篇安徽农业大学
  • 5篇大连理工大学
  • 3篇滁州学院
  • 3篇教育部
  • 2篇安徽建筑工业...
  • 2篇安徽教育学院
  • 1篇贵州大学

作者

  • 39篇孙兆奇
  • 34篇宋学萍
  • 17篇吕建国
  • 12篇孟凡明
  • 9篇曹春斌
  • 7篇周明飞
  • 6篇蔡琪
  • 4篇江锡顺
  • 3篇戴结林
  • 3篇曹铃
  • 3篇朱剑博
  • 2篇黄飞
  • 2篇鲁飞
  • 2篇郭守月
  • 2篇夏齐萍
  • 2篇汪小小
  • 2篇黄凯
  • 2篇陈学梅
  • 1篇侯奎
  • 1篇訾振发

传媒

  • 6篇安徽大学学报...
  • 6篇功能材料
  • 5篇真空科学与技...
  • 4篇人工晶体学报
  • 3篇硅酸盐学报
  • 2篇电子显微学报
  • 2篇Chines...
  • 2篇Scienc...
  • 2篇合肥师范学院...
  • 1篇硅酸盐通报
  • 1篇安徽教育学院...
  • 1篇合肥工业大学...
  • 1篇光学学报
  • 1篇分析测试学报
  • 1篇大学物理
  • 1篇光谱学与光谱...
  • 1篇真空电子技术
  • 1篇半导体光电
  • 1篇压电与声光
  • 1篇电子元件与材...

年份

  • 1篇2012
  • 5篇2011
  • 10篇2010
  • 12篇2009
  • 14篇2008
  • 7篇2007
48 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
ITO薄膜的透射谱解谱被引量:2
2009年
用直流磁控溅射法在普通载波片上制备了厚度130nm左右的ITO薄膜,分别在100、200、300和400℃下退火1h。测量了退火前后几个样品的XRD和透射率,利用椭偏解谱方法对几个样品的透射谱进行建模及解谱,结果表明,未退火样品为非晶结构,退火后为多晶结构;退火温度在300℃以下的样品,随着退火温度的升高其n和k值都有明显的降低,退火温度为400℃的样品n和k值却有所增大。利用吸收系数得到了几个样品的直接带隙,其变化范围在3.7eV^3.9eV之间。
郭守月曹春斌孙兆奇
关键词:透射谱ITO薄膜
退火温度对ITO薄膜微结构和光电特性的影响被引量:20
2011年
用直流磁控溅射法制备了氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜。制备出的薄膜在大气环境下退火,退火温度分别为100℃、200℃、300℃和400℃,保温时间为1 h。采用X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱仪(XPS)、紫外-可见光分光光度计和四探针测试仪等测试手段分别对薄膜的微结构、化学组分和光电特性进行了测试分析。分析结果表明:Sn元素已经溶入In2O3晶格中形成了固溶体。退火温度的升高,有助于提高ITO薄膜中Sn原子氧化程度,从而提高了薄膜在可见光范围内的透射率。退火温度为200℃时ITO薄膜的性能指数最高,为4.56×10-3Ω-1。
江锡顺万东升宋学萍孙兆奇
关键词:ITO薄膜光电特性
TiO2薄膜的相变与光学性能被引量:3
2008年
采用射频磁控溅射法在单晶硅片和石英玻璃片上沉积TiO_2薄膜。通过X射线衍射、原子力显微镜、X射线光电子能谱、紫外可见光谱和荧光发射光谱对薄膜的结构、相组成和表面形貌进行了表征。研究了退火温度对薄膜相结构、表面化学组成、形貌及光学性能的影响。结果表明:沉积的TiO_2薄膜为无定形结构,经400℃以上退火后的薄膜出现锐钛矿相,600℃以上退火后的薄膜开始出现金红石相,1 000℃以上退火的薄膜完全转变为金红石相。随着退火温度的升高,晶粒尺寸逐渐增大,仅在950~1000℃时出现减小,1000℃退火的薄膜组成为TiO_x。随着退火温度的升高,薄膜的透射率下降,折射率和消光系数有所增加。
孟凡明周明飞宋学萍
关键词:二氧化钛薄膜射频磁控溅射锐钛矿金红石
TiO_2基压敏陶瓷的研究进展
2009年
TiO2基压敏陶瓷的非线性伏安特性和介电性能优良,具有吸收高频噪声和过电压保护的功能。综述了此陶瓷的制备工艺、烧结制度、施主、受主掺杂和烧结助剂等对TiO2基压敏陶瓷电性能的影响之研究现状,并阐述了TiO2基压敏陶瓷未来的研究方向。
孟凡明鲁飞
关键词:烧结助剂电性能
创新性近代物理实验教学——AZO薄膜的制备及其表征
2009年
介绍了创新性近代物理实验sol-gel法制备AZO薄膜的实验原理和不同Al掺杂量ZnO薄膜的制备过程,用X射线衍射仪和紫外-可见分光光度计测试了AZO薄膜的微结构和光学性质。测试结果表明:随着Al掺杂量的增加,AZO薄膜的结晶度提高,吸收边发生蓝移,光学带宽Eg从3.279减小3.216eV。实验教学结果显示:将科研项目开设为创新性学生实验,教学效果良好,激发了学生对实验的学习兴趣,培养了学生的创新意识和综合能力。
吕建国孙兆奇朱剑博宋学萍
关键词:创新性实验教学近代物理实验AZO薄膜
未知二粒子纠缠态的辅助克隆
2009年
提出一个以三粒子GHZ态为量子信道的未知二粒子纠缠态及其正交态的概率克隆方案.此方案中,发送方Alice和接收方Bob对未知态的信息一无所知.首先Alice对他的粒子实施贝尔测量,在得知Alice的测量结果后,通过引入辅助粒子并执行控制非门操作后,Bob可成功地接收未知态.随后在态的制备方Victor的帮助下,Alice以一定的概率获得未知二粒子纠缠态及其正交态的复制.该方案同样适合量子信道是非最大纠缠态的情况.此外,量子纠缠资源和经典信息损耗在该方案中均得到了节省.
侯奎史守华
关键词:GHZ态量子克隆
Ag-MgO复合团簇薄膜微结构及其光学特性
2008年
用射频-磁控共溅射技术制备出Ag体积分数分别为5%,10%,15%和20%的Ag-MgO复合团簇薄膜。用X-射线衍射仪、原子力显微镜和紫外-可见分光光度计研究了复合团簇薄膜的微结构、表面形貌和光学性质。结果表明:随着Ag体积分数从5%增大到20%,薄膜中Ag的平均晶粒尺寸由8.2nm增大到10.9nm,薄膜的平均颗粒尺寸从37.9nm增大到43.4nm,方均根(rms)粗糙度先减小后略有增大,可见光范围内的平均透过率先下降后几乎保持不变。
吕建国伍红松陈磊宋学萍孙兆奇
关键词:微结构表面形貌光学性质
Study on transmittance spectra of ITO thin films by ellipsometric method
2010年
ITO films with thicknesses (134+8) nm, grown on glass substrates by sputtering method, were post-annealed at the temperatures of 100, 200, 300 and 400°C for 1 h, respectively. The as-deposited ITO film was amorphous, but crystallized with annealing at elevated temperatures, as demonstrated by X-ray diffraction. The transmittance spectra of all samples were obtained and subsequently simulated by means of spectroscopic ellipsometry. The optical constants n and k of the films were extracted. With the annealing temperature increasing, the optical constants n and k of the films firstly decreased then increased in the whole investigated wavelength range. The optical band gaps of all films were evaluated and they varied between 3.74 and 3.93 eV.
SUN ZhaoQi1, CAO ChunBin123, CAI Qi1 & SONG XuePing1 1 School of Physics and Material Science, Anhui University, Hefei 230039, China
关键词:ITOCONSTANTSTRANSMITTANCESPECTRASPECTROSCOPICELLIPSOMETRY
分形理论及其在薄膜微结构研究中的应用被引量:1
2007年
介绍分形的基本概念以及几种常用的计算简单分形维数的方法,用分形研究Au-MgF2纳米金属介质复合薄膜中Au颗粒和半连续Ag膜中Ag小岛的分布规律。结果表明:复合薄膜中Au颗粒的分形维数随Au含量的增加由1.5516逐渐增大到1.7671,表明金属介质复合薄膜中Au颗粒的平均尺寸随着Au含量的增加而增大;半连续Ag膜中Ag小岛的分形维数随厚度的增加从1.4051增大到1.7428,说明半连续Ag膜的覆盖率随着其厚度的增加而增大。这一结果与实验结果一致,因此分形可以用来定量表征薄膜显微结构的演化规律。
吕建国蔡琪宋学萍孙兆奇
关键词:分形分形维数
溅射超薄Au膜表面形貌的分形表征被引量:2
2010年
采用直流磁控溅射技术制备超薄Au膜,用原子力显微镜观察薄膜的表面形貌。功率谱密度计算结果显示,随着溅射时间增加,高频段曲线拟合直线的斜率增大,相应的分形维数从2.579减小到2.500;而低频段曲线拟合直线的斜率减小,相应的分形维数由2.607增大到2.819,薄膜表面形貌存在多尺度行为。多重分形谱结果表明,随着溅射时间的增加,分形谱宽Δα从0.051增大到0.118,说明薄膜表面高度分布范围愈来愈宽,表面粗糙度愈来愈大,与rms研究结果一致。样品的Δf均>0,说明样品表面最高峰位的数目均多于最低谷位的数目。
吕建国宋学萍孙兆奇
关键词:原子力显微镜功率谱密度多重分形谱
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