中央高校基本科研业务费专项资金(NP2012516)
- 作品数：3 被引量：46H指数：3
- 相关作者：朱永伟居志兰王建彬徐俊樊吉龙更多>>
- 相关机构：南京航空航天大学安徽工程大学南通大学更多>>
- 发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金国家自然科学基金江苏省自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学金属学及工艺一般工业技术更多>>
- 固结磨料研磨蓝宝石单晶过程中研磨液的作用被引量：24
- 2014年
- 开展了固结磨料研磨单晶蓝宝石面板的实验研究,探索了不同研磨液对材料去除速率和工件表面质量的影响。分析了研磨液对蓝宝石表面的化学作用,探索了固结磨料研磨蓝宝石晶体的材料去除机理。实验显示:使用W14镀镍金刚石固结磨料研磨蓝宝石单晶,研磨液仅为去离子水时,材料去除率(MRR)为149.8nm/min、表面粗糙度(Ra)为76.2nm;而研磨液中加入2%的乙二醇后,相应的MRR为224.1nm/min,Ra为50.7nm。用光电子能谱仪(XPS)分析了工件表面,结果表明含有乙二醇的研磨液能够增加蓝宝石工件表面的活性。得到的结果显示:在溶液中加入乙二醇有利于表面软化层的生成并增加蓝宝石表面的活性,说明研磨液对蓝宝石单晶研磨效率的提升和表面质量的改善具有促进作用。
- 王建彬朱永伟谢春祥徐俊居志兰
- 关键词：研磨液乙二醇蓝宝石晶片
- 乙二醇对固结磨料研磨蓝宝石晶圆的影响被引量：5
- 2014年
- 研磨液中的化学添加剂对于蓝宝石晶圆的高效超光滑表面加工至关重要.文中开展了固结磨料研磨蓝宝石晶圆的实验研究,探索了不同乙二醇含量的研磨液对材料去除速率和表面形貌的影响规律,采用微/纳米压痕技术和光电子能谱剖析了工件表层的物理化学性能.结果表明:当研磨液中含有5%的乙二醇时,工件表面变质层深度约为3.90 nm,远优于去离子水研磨液的工件变质层深度(1.04 nm);乙二醇含量的提高促进了表面变质层的生成,有利于蓝宝石工件研磨效率的提高和表面质量的改善.
- 王建彬朱永伟居志兰徐俊左敦稳
- 关键词：乙二醇蓝宝石
- 抛光介质对固结磨料化学机械抛光水晶的影响被引量：22
- 2013年
- 在固结磨料化学机械抛光中,工件表面与抛光介质易发生水解反应,产生软化层,而软化层厚度直接影响材料去除速率及表面质量。本文采用显微硬度计测量了不同介质条件下水晶表面的变质层厚度,并基于CP-4研磨抛光平台研究了不同抛光介质及温度对材料去除速率的影响,进而在线测量了抛光过程中声发射信号及抛光垫与工件之间摩擦系数的变化。结果表明:六偏磷酸钠的加入可促进水晶玻璃表层网络结构断裂,软化表层,软化层厚度随着浸泡时间、温度升高而增加,进而提高了水晶玻璃的去除率;而且随着温度升高,水解作用更加明显。实验显示,声发射信号及摩擦系数实时测量对抛光工艺参数的优化具有指导意义。
- 居志兰朱永伟王建彬樊吉龙李军
- 关键词：化学机械抛光显微硬度
