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表面工程技术国家级重点实验室基金(9140C543010704)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：邱家稳许旻王洁冰吴春华何延春更多>>
相关机构：中国科学院兰州物理研究所更多>>
发文基金：表面工程技术国家级重点实验室基金更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇电致变色
  • 1篇溅射
  • 1篇TAO
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇X

机构

  • 1篇中国科学院兰...

作者

  • 1篇何延春
  • 1篇吴春华
  • 1篇王洁冰
  • 1篇许旻
  • 1篇邱家稳

传媒

  • 1篇真空与低温

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
TaO_x离子导电薄膜的制备与性能
2008年
采用直流反应磁控溅射方法制备Ta2O5薄膜,并研究了其制备工艺;在Arnoldussen法的基础上,采用了一种新的方法对Ta2O5薄膜离子导电性能进行了测试。结果表明,制备的Ta2O5薄膜具有良好的离子导电性能。
何延春邱家稳许旻王洁冰吴春华
关键词：磁控溅射电致变色
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共1页<1>
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