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中国人民解放军总装备部预研基金(51305050301)

作品数：1 被引量：3H指数：1
相关作者：熊艳丽屈明山袁明权张茜梅孙远程更多>>
相关机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
发文基金：中国人民解放军总装备部预研基金中国工程物理研究院科学技术发展基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇压阻
  • 1篇阳极键合
  • 1篇圆片
  • 1篇圆片级
  • 1篇圆片级封装
  • 1篇微机电系统
  • 1篇微加速度计
  • 1篇机电系统
  • 1篇加速度
  • 1篇加速度计
  • 1篇键合
  • 1篇封装
  • 1篇电系统

机构

  • 1篇中国工程物理...

作者

  • 1篇武蕊
  • 1篇孙远程
  • 1篇张茜梅
  • 1篇袁明权
  • 1篇屈明山
  • 1篇熊艳丽

传媒

  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于圆片级阳极键合封装的高g_n值压阻式微加速度计被引量：3
2013年
设计了一种适合于高gn值压阻式微加速度计圆片级封装的结构,解决了芯片制造工艺过程中电极通道建立、焊盘保护、精确划片等关键技术。采用玻璃—硅—玻璃三层阳极键合的方式进行圆片级封装,较好地解决了芯片密封性、小型化和批量化等生产难题。在4 in生产线上制作的高gn值压阻式微加速度计样品,尺寸仅为1 mm×1 mm×0.8 mm;对传感器进行的校准与抗冲击性能测试,结果表明:样品具备105gn的抗冲击能力、0.15μV/gn/V的灵敏度以及200 kHz的谐振频率。
袁明权孙远程张茜梅武蕊屈明山熊艳丽
关键词：微机电系统圆片级封装微加速度计压阻阳极键合
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