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国家自然科学基金(61078024)

作品数:4 被引量:8H指数:2
相关作者:吴涛王新兵王少义谭荣王世芳更多>>
相关机构:华中科技大学武汉工程大学湖北第二师范学院更多>>
发文基金:国家自然科学基金油气藏地质及开发工程国家重点实验室开放基金更多>>
相关领域:理学机械工程电子电信更多>>

文献类型

  • 4篇中文期刊文章

领域

  • 4篇理学
  • 2篇机械工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 3篇等离子体
  • 3篇激光
  • 3篇激光等离子体
  • 3篇CO_2激光
  • 2篇缓冲气体
  • 1篇电子密度
  • 1篇电子温度
  • 1篇谱学
  • 1篇脉冲
  • 1篇激光光学
  • 1篇光刻
  • 1篇光谱
  • 1篇光谱学
  • 1篇光学
  • 1篇PRODUC...
  • 1篇SN
  • 1篇SPECTR...
  • 1篇CO2激光
  • 1篇EUV
  • 1篇FLAT

机构

  • 3篇华中科技大学
  • 3篇武汉工程大学
  • 1篇湖北第二师范...

作者

  • 3篇王新兵
  • 3篇吴涛
  • 2篇王少义
  • 1篇卢宏
  • 1篇陆培祥
  • 1篇饶志明
  • 1篇王世芳
  • 1篇杨晨光
  • 1篇唐建
  • 1篇谭荣

传媒

  • 1篇中国激光
  • 1篇光学学报
  • 1篇光谱学与光谱...
  • 1篇Plasma...

年份

  • 2篇2013
  • 2篇2012
4 条 记 录,以下是 1-4
排序方式:
Spectral Efficiency of Extreme Ultraviolet Emission from CO_2 Laser-Produced Tin Plasma Using a Grazing Incidence Flat-Field Spectrograph
2013年
A grazing incidence flat-field spectrograph using a concave grating was constructed to measure extreme ultraviolet (EUV) emission from a CO 2 laser-produced tin plasma throughout the wavelength region of 5 nm to 20 nm for lithography. Spectral efficiency of the EUV emission around 13.5 nm from plate, cavity, and thin foil tin targets was studied. By translating the focusing lens along the laser axis, the dependence of EUV spectra on the amount of defocus was investigated. The results showed that the spectral efficiency was higher for the cavity target in comparison to the plate or foil target, while it decreased with an increase in the defocus distance. The source's spectra and the EUV emission intensity normalized to the incident pulse energy at 45 from the target normal were characterized for the in-band (2% of bandwidth) region as a function of laser energy spanning from 46 mJ to 600 mJ for the pure tin plate target. The energy normalized EUV emission was found to increase with the increasing incident pulse energy. It reached the optimum value for the laser energy of around 343 mJ, after which it dropped rapidly.
吴涛王新兵王少义
基于脉冲CO_2激光锡等离子体光刻光源的极紫外辐射光谱特性研究被引量:4
2012年
研究了不同条件下脉冲放电CO2激光烧蚀平板锡靶产生的等离子体极紫外辐射特性,设计并建立了一套掠入射极紫外平焦场光栅光谱仪,结合X射线CCD探测了光源在6.5~16.8nm波段的时间积分辐射光谱,得到了极紫外光谱随激光脉宽,入射脉冲能量及背景气压的变化规律。实验结果发现:入射激光脉冲能量在30~600mJ变化时,极紫外辐射光谱的强度随辐照激光脉冲能量的增加而增加,但并不是线性关系,具有饱和效应,且产生极紫外辐射的脉冲能量阈值约为30mJ,当激光脉冲能量为425mJ时具有最高的转换效率,此时中心波长13.5nm处2%带宽内的转换效率约为1.2%。激光脉冲半高全宽在50~120ns范围内变化时,极紫外辐射光谱的峰值位置均位于13.5nm,光谱形状几乎没有什么变化,但是脉宽从120ns变到52ns后,由于激光功率密度的提高,极紫外辐射强度也随之增强了约1.6倍。极紫外光谱的强度随背景气压的增大而迅速下降,当腔内空气气压为200Pa时,极紫外辐射光子几乎被全部吸收,而当缓冲氦气气压为7×104 Pa时,仍能够探测到微弱的极紫外辐射信号,计算表明100Pa的空气对13.5nm极紫外光的吸收系数为3.0m-1,而100Pa的He气的吸收系数为0.96m-1。
吴涛王新兵王少义陆培祥
关键词:激光等离子体CO2激光缓冲气体
基于阴影法的脉冲CO_2激光Sn等离子体羽辉膨胀特性研究被引量:4
2013年
基于阴影法测量了脉冲CO2激光Sn等离子体羽辉在缓冲气体中的膨胀特性,得到了羽辉边界位置及其等离子体碎屑动能随延时的变化规律,并利用修正的阻力扩散模型拟合了实验数据。研究表明,在入射激光脉冲能量为400mJ,脉冲半峰全宽为75ns,缓冲空气气压为1000Pa时,初期(延时小于100ns)Sn等离子体羽辉边界的膨胀速度可以达到3cm/μs,随着延时的增加,由于背景气体分子的热碰撞阻力作用,羽辉粒子的速度急剧下降,后期(延时大于800ns)羽辉碎屑离子膨胀速度降到了0.3cm/μs。修正的阻力扩散模型拟合的结果表明等离子体羽辉膨胀的极限尺寸xst=15.2mm,实验测试结果表明,羽辉碎屑粒子运动的极限距离约为16mm,理论模型与实验结果吻合较好。
吴涛王新兵王世芳谭荣
关键词:激光光学激光等离子体缓冲气体
CO_2激光锡等离子体极端紫外及可见光光谱被引量:2
2012年
利用CO2激光烧蚀锡靶产生等离子体,当入射到靶面的单个脉冲能量为400mJ,半峰全宽(FWHM)为75ns时,使用光谱仪和增强型电荷耦合器件(ICCD)采集了等离子体的时间分辨光谱。在局域热平衡假设下,利用谱线的斯塔克展宽和五条Sn II谱线的相对强度计算并得到了等离子体电子密度、电子温度和辐射谱线强度随时间的变化规律;利用掠入射极端紫外平场光栅光谱仪,结合X射线CCD同时探测了光源在6.5~16.8nm波段的时间积分极端紫外辐射光谱。实验结果表明:激光点燃等离子体早期的100ns内有很强的连续谱,此后才能分辨出明显的原子和离子线状谱。在延时0.1~2.0μs的时间区间内,等离子体中的电子温度和密度分别在2.3~0.5eV和7.6×1017~1.2×1016 cm-3范围内,均随时间经历了快速下降,然后再较缓慢下降的过程。激光锡等离子体极端紫外不可分辨辐射跃迁光谱峰值中心位于13.5nm,FWHM为1.1nm。
吴涛王新兵唐建王少义饶志明杨晨光卢宏
关键词:光谱学激光等离子体电子密度电子温度
共1页<1>
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