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江西省自然科学基金(2007gqw0158)
作品数:
1
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相关作者:
王根生
叶志清
吴木生
邓海东
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2008
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激光频率对用PLD法生长氧化锌薄膜特性的影响
被引量:2
2008年
用脉冲激光沉积法(PLD)在硅(100)衬底上制备了c轴取向的高质量的ZnO薄膜.分析了不同激光频率下薄膜的结晶状况,通过对薄膜的PL谱的测试,分析了不同激光频率下薄膜的发光特性状况,同时进行了薄膜结构的测试.结果显示:激光频率为3 Hz的样品结晶质量较高,具有很高的c轴择优取向,同时发光性能达到相对优化.
吴木生
叶志清
王根生
邓海东
欧阳桂仓
关键词:
脉冲激光沉积法
氧化锌
X射线衍射
激光频率
光致发光
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