公共文化服务平台

共 1 条记录，以下是 1-1

全选清除导出

排序方式：

衬底和O_2/Ar气体比例对ZnO薄膜结构及性能的影响被引量：1: 2008年; 采用直流磁控溅射法沉积了ZnO薄膜,以X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、原子力显微镜等手段对薄膜的晶体结构和微观相貌进行了分析,并对薄膜的电学性能进行了考察。结果表明:所制备薄膜沿c轴高度择优,并具有较高的电阻率;ZnO薄膜的沉积速率和c轴择优度是由O2/Ar气体比例和衬底共同决定的;Au衬底上的ZnO薄膜以三维生长为主,在Al和Si衬底上出现了不同程度的薄膜二维生长;电阻率随O2/Ar气体比例的提高逐渐增加,Si衬底上薄膜的电阻率高于Al和Au衬底上的。; 李俊红汪承灏徐联; 关键词：ZNO C轴取向微观结构电阻率

全选清除导出

共1页<1>

中国科学院知识创新工程(20002A01)