国家教育部博士点基金(20010248001)
- 作品数：5 被引量：15H指数：2
- 相关作者：陈文元苏宇锋张卫平陈晓梅崔峰更多>>
- 相关机构：上海交通大学郑州大学更多>>
- 发文基金：国家教育部博士点基金更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术化学工程更多>>
- 柔性膜微型电磁驱动器的设计与制作工艺被引量：2
- 2005年
- 主要讨论了一种微型电磁驱动器的设计和制作工艺。该驱动器结构简单,由 Parylene 振动膜和硅基片两层组成,将驱动线圈与硅片集成在一起。对平面电磁线圈的驱动特性和驱动器振动膜的形变进行了分析,并对其关键尺寸进行优化。采用电镀工艺在硅基片上电镀驱动线圈,在 Parylene 薄膜上电镀 NiFe 合金阵列,采用牺牲层工艺得到振动膜的悬空结构。
- 苏宇锋陈文元陈晓梅张卫平王伟
- 关键词：PARYLENE
- 一种新型电磁驱动微泵的设计与制作工艺被引量：7
- 2005年
- 主要阐述了一种新型电磁驱动微泵的设计和制作工艺。该微泵结构简单 ,由驱动线圈、硅橡胶振动膜和无阀泵泵体组成 ,采用硅加工工艺和非硅加工工艺 (电镀 )相结合进行制作。采用模压法和硅橡胶加工方法将振动膜直接做在一个硅片上 ;用电镀和硅体加工工艺制作驱动线圈和无阀泵泵体 ,然后将 3个基片键合在一起。
- 苏宇锋陈文元崔峰
- 关键词：硅橡胶电镀模压法基片微泵电磁驱动
- 基于Parylene薄膜的微型电磁驱动器的设计与工艺被引量：1
- 2004年
- 主要讨论了一种微型电磁驱动器的设计和制作工艺。该驱动器结构简单,由Parylene振动膜和硅基片两层组成,将驱动线圈与硅片集成在一起。分析了平面电磁线圈的驱动特性和驱动器振动膜的形变,对其关键尺寸进行优化。采用电镀工艺在硅基片上电镀驱动线圈、在Parylene薄膜上电镀NiFe合金阵列,并采用牺牲层工艺得到振动膜的悬空结构。
- 苏宇锋陈文元
- 关键词：电磁驱动微驱动器
- 动态被动阀微泵的设计优化和制造被引量：5
- 2003年
- 研究的动态被动阀微泵是一种基于微机械技术的振膜型无阀微泵。相对于有阀微泵而言 ,有更高的工作频率和可靠性 ,结构简单 ,加工制造的成本比较低 ,更容易满足实际应用中的各种要求。讨论了动态被动阀的工作机理 ,结合流体力学的基本理论与动态被动阀微泵的特点 ,采用有限单元方法以及相关工具软件ANSYS/FLOTRAN ,对整个动态被动阀微泵模型进行了计算、求解和模拟 ,并根据计算结果及加工工艺特点对其结构进行优化。用基于集成电路制造技术的微细加工工艺分别对动态被动阀微泵的各组成部分进行加工 。
- 张卫平陈文元吴校生陈晓梅徐正福
- 关键词：优化设计微机械技术
- 内嵌永磁体阵列的柔性振动膜微型电磁驱动器的设计与制作工艺
- 2009年
- 提出了一种基于硅橡胶薄膜(PDMS,polydimethyl siloxane)和CoNiMnP永磁体阵列的双向微型电磁驱动器,由振动膜层和线圈层两层构成。对该驱动器进行了理论分析与数值模拟,二者结果基本一致,振动膜中心最大挠度的分析误差为7.96%.着重探讨了内嵌磁体阵列的PDMS振动膜的电镀工艺,磁体阵列中每一个小磁体块的尺寸为50μm×50μm×20μm,其矫顽力、剩磁和最大磁能积分别为208.73 kA/m,0.2 T和10.15 kJ/m3.
- 苏宇锋段智勇郑鹏刘武发陈文元
- 关键词：微驱动器电磁驱动电镀
