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2μm像元间距GaAs/AlGaAs量子阱红外焦平面探测器被引量：6: 2008年; 量子阱焦平面探测器具有大面阵焦平面探测器重复性和均匀性好、成品率高、成本低等明显的产业化优势,在军民两用领域获得了广泛而重要的应用。为了尽快研制出全国产化高性能量子阱红外焦平面探测器,通过完全正向的器件设计,采用常规光刻和反应离子刻蚀方法,成功研制出87.1%的高占空比320×256长波量子阱焦平面探测器,峰值波长9μm,平均峰值探测率1.6×1010cm·Hz1/2·W-1。第一支样管的噪声等效温差为33.2mK,响应率不均应性8.9%,面阵盲元率1%。在70K温度下获得了1km和4.2km处的建筑物的清晰成像。实验结果充分显示了器件设计的正确性及研制技术的可控性。; 史衍丽曹婉茹周艳杨明珠何丹; 关键词：GAAS/AIGAAS 量子阱红外探测器长波焦平面噪声等效温差

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中国人民解放军总装备部预研基金(40405030104)