国家自然科学基金(61261026)
- 作品数:4 被引量:6H指数:2
- 相关作者:高益庆钟可君李凤张志敏许广涛更多>>
- 相关机构:南昌航空大学南京航空航天大学教育部更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金航天科技创新基金教育部重点实验室基金更多>>
- 相关领域:机械工程理学电子电信更多>>
- 微透镜阵列在提高OLED取光效率中的应用被引量:2
- 2014年
- 有机电致发光二极管(OLED)具有寿命长、节能、绿色环保等特点,有望成为下一代重要光源。制约OLED发展的一个重要障碍是其取光效率较低。为了提高OLED取光效率,研究者进行了大量的研究,其中应用微透镜阵列提高OLED取光效率是一种重要方式。文章简单分析了微透镜阵列提高OLED取光效率的原理,综述分析了各种结构特征的微透镜阵列在提高OLED取光效率中的应用,总结了在OLED基底表面制备微透镜阵列的方法、优缺点,以及应用微透镜阵列提高OLED取光效率的最新进展和发展趋势。
- 钟可君高益庆
- 关键词:OLED微透镜阵列
- PDMS在使用软光刻技术制作微透镜阵列的转印效果分析被引量:1
- 2014年
- 以微透镜阵列为例,分析了在软光刻技术中使用PDMS复制微结构的有效性。首先介绍了制作光刻胶微透镜阵列,使用软光刻技术通过两次转印制作PDMS凹微透镜阵列和凸SU-8微透镜阵列工艺流程;接着叙述了使用金相显微镜和白光干涉轮廓仪对微透镜阵列样品的表面轮廓进行测量的结果,并对样品不同尺寸、不同材料的微透镜阵列样品的测量值以及这些测量值与设计值之间差异进行了分析。分析结果表明,使用PDMS转印光刻胶上的微结构以及将PDMS薄膜作为模板把微结构转印到SU-8表面均是可行的、有效的。
- 李凤高益庆许广涛崔晓峰况国文
- 关键词:微光学软光刻微透镜阵列PDMS
- 基于YAG透明陶瓷制作衍射光栅元件的研究
- 2015年
- 研究并制作了以钇铝石榴石(YAG)透明陶瓷为基底材料的衍射光栅元件。通过磁控溅射技术在YAG透明陶瓷表面溅射一层均匀致密的金属铬,获得带有硬掩模的陶瓷样品。借助接触式曝光系统进行光刻,反复试验,获得带有衍射光栅的YAG透明陶瓷样品。经光学轮廓仪检测,样品铬膜厚0.072μm,光栅细节得到完好保留。实际光栅的衍射图样再次验证了以YAG透明陶瓷代替传统微光刻基底材料制作衍射光栅的可行性,使得衍射光栅在更为复杂的环境下发挥作用成为可能。
- 李豪伟龚勇清夏侯命玖肖孟超罗宁宁
- 关键词:衍射光栅磁控溅射
- 一种制作凹形聚二甲基硅氧烷微透镜阵列的方法被引量:4
- 2014年
- 提出一种制作凹形聚二甲基硅氧烷(PDMS)微透镜阵列的方法。用数字微镜器件(DMD)代替物理掩模,建立数字灰阶无掩模光刻系统,在光刻胶上制作正方形基底凸形微透镜阵列,以此阵列为母板,采用复制方法,制作了高填充因子的正方形基底凹形PDMS微透镜阵列。实验和测试结果表明:数字灰阶无掩模光刻系统制作的微透镜阵列表面光滑,形貌良好;复制的PDMS微透镜阵列边缘清晰,表面光滑,焦面光斑光强均匀。为制作凹形微透镜阵列提供了一条制作简单、效率高、成本低、可大规模制作的新途径。
- 钟可君高益庆李凤张志敏
- 关键词:光学器件微光学元件聚二甲基硅氧烷