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山东省教育厅科技计划(J08LI07)
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飞秒激光辐照Ge_2Sb_2Te_5相变薄膜的拉曼光谱研究
2011年
室温下,采用磁控溅射镀膜系统在Si(100)基片上制备了Ge2Sb2Te5(GST)薄膜样品.对分别经过不同能量密度的飞秒激光辐照及经退火炉200℃退火处理的样品,进行拉曼光谱测试,通过分析其拉曼光谱峰位的变化来研究GST薄膜从非晶态到晶态转变的相变过程.随着辐照激光能量密度的增加,薄膜的拉曼峰位出现了定向移动.经200℃退火样品的拉曼谱与经24mJ/cm2飞秒激光辐照的样品拉曼谱相似,表明在一定条件下,超快激光光致相变与温控相变具有相似的效果.
孔杰
魏慎金
王召兵
李国华
李晶
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拉曼光谱
飞秒激光
退火
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