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重庆市科委基金(CSTC2005BB4204)
作品数:
2
被引量:12
H指数:2
相关作者:
杨晓红
王新强
马勇
唐一科
冯庆
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相关机构:
重庆师范大学
重庆大学
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发文基金:
重庆市科委基金
中国工程物理研究院基金
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相关领域:
电子电信
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2篇
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2篇
电子电信
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WO3薄膜
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直流磁控
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直流磁控溅射
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透光率
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退火
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气敏
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消光
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消光系数
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溅射
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WO
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传感
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磁控
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磁控溅射
机构
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重庆大学
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马勇
2篇
王新强
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杨晓红
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冯庆
1篇
唐一科
传媒
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功能材料
1篇
传感器与微系...
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1篇
2007
1篇
2006
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WO_3薄膜气敏光学传感特性研究
被引量:6
2007年
WO3薄膜是良好的光学气敏传感器材料。采用溶胶凝胶法制备了WO3掺杂薄膜,对样品在不同浓度氢气气氛中的气敏光学性质、敏感度及响应时间进行了测试、分析和计算,并结合光传输理论给出了气敏薄膜的光学变化机制,理论分析与实验结论吻合。
杨晓红
王新强
马勇
冯庆
关键词:
WO3薄膜
气敏
透光率
消光系数
纳米WO_3薄膜的光学性质及氢敏特性研究
被引量:6
2006年
采用磁控直流溅射法制备出纳米WO3薄膜,在N2气中进行退火处理。采用分光光度计、XRD等对退火前后的WO3薄膜进行了光学特性的分析。研究表明:在623 K进行退火处理的薄膜均匀、致密,呈现出较好的结晶态。采用光源激发对纯WO3薄膜在不同温度条件下的氢敏特性进行了研究,实验显示:WO3薄膜对H2的敏感性与温度有关,在348 K温度条件下,WO3薄膜的氢敏效应最好。
杨晓红
王新强
唐一科
马勇
关键词:
直流磁控溅射
WO3薄膜
退火
光学性质
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