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中国科学院知识创新工程(06SF021002)

作品数:1 被引量:0H指数:0
相关作者:陈大鹏王磊高超群惠瑜景玉鹏更多>>
相关机构:中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金:中国科学院知识创新工程更多>>
相关领域:机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇电磁驱动
  • 1篇射频MEMS...
  • 1篇开关
  • 1篇隔离度
  • 1篇MEMS

机构

  • 1篇中国科学院微...

作者

  • 1篇景玉鹏
  • 1篇惠瑜
  • 1篇高超群
  • 1篇王磊
  • 1篇陈大鹏

传媒

  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2010
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
电磁驱动推拉式射频MEMS开关的设计与制作
2010年
提出了一种新型电磁驱动推拉式射频MEMS开关。针对传统静电驱动单臂梁开关所需驱动电压大、恢复力不足等问题,设计了一种推拉式开关结构,降低了驱动电压(电流),提高了开关的隔离度,同时实现了单刀双掷的功能。单晶Si梁由于自身无应力,解决了悬臂梁残余应力引起的梁变形问题。通过理论计算和有限元分析,优化了开关设计尺寸,在外围永磁铁磁感应梯度dB/dz=100T/m,在线圈通入100mA电流的驱动下,单晶Si扭转梁末端可以获得约10μm的弯曲量,满足开关驱动要求。给出了开关的详细微细加工流程,对开关的传输参数进行了测试,在10GHz时隔离度为-40dB.
惠瑜高超群王磊景玉鹏陈大鹏
关键词:射频MEMS开关MEMS电磁驱动隔离度
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