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国家基础科研基金资助项目(A1120060954)
作品数:
1
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蓝宝石衬底AlGaN/GaN HFET功率特性
被引量:2
2006年
通过台面隔离与注入隔离结合的方法,解决了由于GaN外延材料缓冲层质量差造成的AlGaN/GaN HFET击穿电压低的问题.通过优化的500℃/50s栅退火条件,改善Ni-AlGaN/GaN二极管特性,理想因子和势垒高度分别优化到1.5和0.87eV.通过改进AlGaN/GaN HFET制备工艺,得到提高器件输出功率的优化工艺,采用这一工艺制备的蓝宝石衬底总栅宽为1mm,器件在频率为8GHz时输出功率达到4.57W,功率附加效率为55.1%.
张志国
杨瑞霞
李丽
冯震
王勇
杨克武
关键词:
ALGAN/GAN
HFET
整流特性
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