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湖北省自然科学基金(2000j162)
作品数:
1
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相关作者:
李蓬
杨春华
余文峰
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夏文建
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湖北省自然科学基金
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2007
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用复合监控法镀制的TEA CO_2激光器增透膜
2007年
比较了光学薄膜淀积过程中的晶振监控和光学监控各自的优缺点,提出了一种有效利用这两种监控方法各自优点的复合监控方法,利用该复合监控方法采用离子辅助镀工艺镀制的TEA CO2激光器增透膜,其透射率高于99.5%,且具有良好的稳定性和重复性。
杨春华
夏文建
李蓬
余文峰
程祖海
关键词:
光学薄膜
膜厚监控
TEA
CO2激光器
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