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湖北省自然科学基金(2000j162)

作品数:1 被引量:0H指数:0
相关作者:李蓬杨春华余文峰程祖海夏文建更多>>
相关机构:华中科技大学更多>>
发文基金:湖北省自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域:理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇增透
  • 1篇增透膜
  • 1篇膜厚
  • 1篇膜厚监控
  • 1篇激光
  • 1篇激光器
  • 1篇光学
  • 1篇光学薄膜
  • 1篇TEA
  • 1篇CO2激光
  • 1篇CO2激光器
  • 1篇CO_2激光

机构

  • 1篇华中科技大学

作者

  • 1篇夏文建
  • 1篇程祖海
  • 1篇余文峰
  • 1篇杨春华
  • 1篇李蓬

传媒

  • 1篇光学与光电技...

年份

  • 1篇2007
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
用复合监控法镀制的TEA CO_2激光器增透膜
2007年
比较了光学薄膜淀积过程中的晶振监控和光学监控各自的优缺点,提出了一种有效利用这两种监控方法各自优点的复合监控方法,利用该复合监控方法采用离子辅助镀工艺镀制的TEA CO2激光器增透膜,其透射率高于99.5%,且具有良好的稳定性和重复性。
杨春华夏文建李蓬余文峰程祖海
关键词:光学薄膜膜厚监控TEACO2激光器
共1页<1>
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