国家自然科学基金(50905046)
- 作品数：4 被引量：5H指数：2
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- 相关机构：哈尔滨工业大学山东科技大学更多>>
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- 相关领域：理学一般工业技术电气工程自动化与计算机技术更多>>
- 基于腹底式被动阻尼器抑制精密气浮工作台的定位噪声被引量：1
- 2012年
- 针对已开发的精密直线气浮工作台,设计了腹底式被动结构的阻尼器以解决静压气浮导轨传动阻尼小,抗干扰能力差等问题。设计的阻尼器由固定于气浮滑套下端面的阻尼片以及处于阻尼片正下方的阻尼油槽和阻尼油组成。通过实验获取了阻尼器的阻尼系数,继而建立了气浮工作台机电控制模型。仿真分析了阻尼器对工作台气浮噪声和动态特性的影响规律:随着阻尼的增大,气浮工作台的稳定裕度和衰减噪声的能力增加,但动态响应速度降低。实验表明,实验结果与所推导的气浮工作台特性一致,且增加阻尼系数为293.78N/m.s-1的阻尼器后,气浮工作台的定位噪声由60nm(峰峰值)降为20nm(峰峰值),位移灵敏度为20nm,实验验证了采用此种结构的阻尼器可有效抑制精密气浮工作台定位噪声。
- 张山王雷
- 关键词：气浮工作台气浮导轨阻尼器
- 数字驱动系统死区效应的双刷新补偿被引量：2
- 2012年
- 针对死区效应会导致永磁同步直线电机相电流失真、推力波动,从而限制其在精密气浮工作台等高精度、低频轻载场合应用的问题,提出了一种根据相电流极性改变驱动器输入信号脉冲宽度来补偿死区效应的方法,双刷新补偿法(DUDTC)。首先,分析了死区效应引起的驱动器输出信号脉冲宽度变化,给出了脉宽调制(PWM)信号上升沿和下降沿的补偿与相电流极性间的关系;然后,在Matlab/Simulink中对死区效应的影响和双刷新补偿法的作用进行仿真;最后,在直线气浮工作台系统中实现了双刷新补偿法。实验显示,该方法相位延迟仅0.5个伺服周期,在电机速度开环和闭环下均使相电流畸变减小,波形正弦化。结果表明,双刷新补偿法能有效改善直线电机电流环性能,且代码量少、移植性好,适用于各类数字开关驱动系统。
- 王雷王龙唐学军林灿发
- 关键词：死区补偿永磁同步直线电机精密工作台电流环
- 声光调制器低分辨力时邻近效应的校正
- 2012年
- 为了有效校正激光直写中的邻近效应,提出了声光调制器低分辨力时邻近效应的校正方法。该方法首先利用误差校正迭代方法以虚拟的高分辨力声光调制器对直写图案进行校正,再将此时的曝光量数据转换圆整以适用于低分辨力声光调制器,然后对各误差区域重心的最邻近光点在曝光数据调制范围内以曝光当量为步长进行遍历寻优。该方法可有效克服误差校正迭代方法不能以低分辨力声光调制器校正直写图案以及寻优不彻底的缺点。实验表明,以"L"直写图案为例,本文方法使低分辨力声光调制器时的图案误差相对于原始误差减小了70.88%。
- 张山王雷
- 关键词：激光直写声光调制器
- 光学仪器隔微振系统的负刚度特性分析与验证被引量：2
- 2013年
- 为了使大负载光学仪器隔微振系统达到更低的固有频率和更小的传递率,提出了正负刚度并联隔微振方法,利用负刚度发生器产生的载荷增量与变形增量方向相反的特性,并联具有大载荷特性的正刚度元件组成稳定的支承系统,使系统能够在不降低承载的情况下有效降低系统刚度。建立了使用绝对位移反馈方法的大型气浮隔微振装置运动模型,分析了本文方法对运动幅值响应的影响。实验结果表明,被隔振体垂向速度均方根值由5.7μm/s降至2.1μm/s,谐振区传递率能有10dB的降低,验证了本文方法能够有效解决被动控制对低频区控制效果不佳的问题。
- 闻荣伟谭久彬
- 关键词：减振负刚度空气弹簧
