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电子信息产业发展基金(2004124)

作品数：1 被引量：7H指数：1
相关作者：戴江南蒲勇邵碧琳王立江风益更多>>
相关机构：南昌大学更多>>
发文基金：电子信息产业发展基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇性能研究
  • 1篇氧化锌
  • 1篇光学
  • 1篇薄膜光学
  • 1篇SI衬底
  • 1篇AG
  • 1篇衬底
  • 1篇ZNO薄膜

机构

  • 1篇南昌大学

作者

  • 1篇方文卿
  • 1篇江风益
  • 1篇王立
  • 1篇邵碧琳
  • 1篇蒲勇
  • 1篇戴江南

传媒

  • 1篇光学学报

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
常压化学气相沉积法在Ag/Si(111)模板上生长ZnO薄膜及其性能研究被引量：7
2006年
在Si衬底上利用磁控溅射的方法沉积1.5 nm厚度的Ag膜用以阻挡Si衬底被氧化。采用常压金属有机化学气相沉积法(MOVCD),在Ag/Si(111)衬底上成功地生长出马赛克结构的ZnO薄膜。用光学显微镜观察表面形貌,结果显示有带晶向特征的微裂纹,裂纹密度为100 cm-1。依据X射线晶体衍射的结果,薄膜结晶质量良好,呈C轴高度择优取向。用双晶X射线衍射得到(002)面的ω扫描半峰宽为1.37°。温度10 K时光致发光谱(PL)观察到自由激子、束缚激子发射及它们的声子伴线。结果表明,金属有机化学气相沉积法方法在Si(111)衬底上制备ZnO薄膜时,Ag是一种有效的缓冲层。
邵碧琳江风益戴江南王立方文卿蒲勇
关键词：薄膜光学氧化锌AGSI衬底
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