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福建省自然科学基金(E1010028)
作品数:
1
被引量:5
H指数:1
相关作者:
崔长彩
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2012
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基于阈值判定法的白光干涉仪自动扫描技术研究
被引量:5
2012年
为了解决实际操作中人工寻找干涉条纹费时、不准确和干涉扫描范围难以精确确定等问题,提出了一种自动扫描技术,实现了白光干涉仪的自动对焦和干涉扫描范围的自动确定。该技术采用全新的基于图像灰度方差变化的方法。首先,计算图像灰度方差变化比值;然后,将该比值与预先设定的阈值进行比较,判断干涉条纹初始和结束位置;最后,根据这两个位置自动确定干涉扫描范围。实验证明:当阈值取0.5时,采用粗精双级结构的白光干涉仪能在3min内准确完成1.2μm被测高度的自动扫描过程,约是手动调节速度的两倍。该技术提高了白光干涉仪的自动化水平及使用效率。
吴志顺
崔长彩
叶瑞芳
黄辉
李兵
黄春棋
关键词:
白光干涉
干涉条纹
图像处理
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