国家教育部博士点基金(20093120120007)
- 作品数：6 被引量：47H指数：3
- 相关作者：朱亦鸣彭滟陈麟陈宏彦温雅更多>>
- 相关机构：上海理工大学上海交通大学上海先进半导体制造股份有限公司更多>>
- 发文基金：国家教育部博士点基金上海市科委纳米专项基金上海市教育委员会创新基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程电子电信化学工程更多>>
- 金属刻蚀后清洗导致AlSiCu互连线空洞问题的研究和对策被引量：1
- 2012年
- 集成电路制造中,AlSiCu互连线一般使用干法刻蚀来制造,刻蚀后需经清洗工艺将残留物去除掉。而在清洗时,合金表面会出现空洞。我们在对空洞形成原理分析后发现,AlSiCu合金是由α相铝铜和富含Cu的θ相铝铜合金组成,在清洗过程中会发生电偶腐蚀而腐蚀Al。并且清洗使用的化学试剂由于含有胺根,水解后加剧了对Al的腐蚀。我们通过降低AlSiCu合金溅射时的衬底温度,将AlSiCu合金表面氧化,去离子水清洗时通入CO2这三种方案来防止AlSiCu合金在清洗时被腐蚀,从而提高了产品的成品率。
- 尤美琳朱亦鸣
- “黑硅”表面特殊锥状尖峰结构的制备及其光学模型仿真被引量：19
- 2011年
- 为了更好地理解＂黑硅＂材料高吸收效率的物理原因,在成功制备了表面具有不同高度的锥状尖峰结构的＂黑硅＂材料基础上,利用扫描电子显微镜（SEM）获得锥状尖峰的几何参数,并根据该参数进行＂黑硅＂表面特殊结构建模,计算出＂黑硅＂材料有效吸收表面积相对于普通平面硅材料的有效吸收表面积增加了20多倍;同时根据表面建模和几何光学的方法在200-2000 nm的光谱范围内进行了反射率仿真,仿真结果与实验测试数据较为接近,从而在理论上验证了该特殊结构的强吸收性是由飞秒激光加工的硅材料有效吸收表面积增加和＂黑硅＂结构的陷光效应而引起的。
- 吴文威徐嘉明陈宏彦
- 关键词：激光技术
- 基于时域太赫兹波谱法的降糖类药物分类与分析被引量：2
- 2011年
- 目的根据降糖类药物在太赫兹频域范围的吸收光谱,研究他们各自基团的振动频率及其共振峰,以有效鉴别各种相似药品,同时也为明确不同分子基团振荡在药理上的贡献打下基础。方法利用时域太赫兹波谱系统对格列喹酮、格列吡嗪、格列齐特、格列美脲、瑞格列奈和二甲双胍6种降糖药进行检测,得到他们在0.3～3.0 THz范围内的吸收谱;同时选取1.5～2.0 THz范围内的分类特征数据,用支持向量机的方法,分别对这些降糖药的特征数据进行鉴别。结果 4种磺脲类降糖药都在1.37 THz处有一明显的共振峰。根据吸收谱,能够很轻易地区分出瑞格列奈和二甲双胍与磺脲类药物的差别;而在支持向量机的帮助下,4类磺脲类药物也可被100%准确区分出来。结论太赫兹作为一种新的检测手段,在药物鉴别、药物品质控制、化学键/功能基团识别等方面有着积极的意义。
- 李晗董萍王家泰杜少卿李洪谢乐陈麟朱亦鸣
- 关键词：太赫兹光谱支持向量机降糖药频段分子
- 飞秒激光烧蚀硅表面产生微纳结构过程中激光脉冲数目的影响被引量：8
- 2011年
- 为了研究飞秒激光脉冲数目与硅表面形貌之间的关系,在相同的SF6气体氛围下,改变照射硅表面的飞秒激光脉冲数,发现在飞秒激光照射下由硅表面形成的微型锥状尖峰的高度与飞秒激光脉冲数呈现一种非线性关系。通过对该关系的研究有利于找出在制造具有较高吸收效率的高微型锥状尖峰的"黑硅"的实验条件,有利于基于"黑硅"材料的光电器件转化效率的提高。
- 阮召崧彭滟朱亦鸣何波涌
- 关键词：光学材料飞秒激光脉冲
- 对称金属包覆结构中反射光干涉效应的研究被引量：1
- 2010年
- 提出了一种可同时达到高对比度和高反射率的对称金属包覆结构。由于导波层的厚度是亚毫米量级,使该结构可容纳一系列共振模。利用四层波导菲涅耳公式,详细分析了耦合金属层的厚度对耦合效率的影响,给出了反射光达到最大对比度时耦合金属层厚度的最优值,并从物理的角度解释了这种现象产生的原因是对称金属包覆结构中的辐射损耗和本征损耗共同作用的结果。实验测量了对称金属包覆结构中反射光的干涉效应。结果表明,对称金属包覆结构可以大大增强反射光的干涉条纹中明、暗光线的对比度,同时光入射到对称金属包覆结构中的耦合效率可接近100%。这将有助于研究高对比度高反射率薄膜和基于对称金属包覆结构的传感器。
- 陈麟彭滟袁明辉朱亦鸣
- 关键词：波导干涉条纹衰减全反射
- 飞秒激光功率与脉冲数的比例关系对制备硅表面微结构的影响被引量：19
- 2011年
- 通过使用两种不同波长的飞秒激光脉冲分别与硅材料相互作用,证明了在相同的激光通量下,激光功率和脉冲数之间的比例将对硅表面微结构的形成起决定性作用。在飞秒激光与硅表面相互作用的过程中,脉冲数表征激光与样品之间的作用时间长短,决定了能量传递到材料内部的深浅程度;而激光功率则表征硅表面材料的消融与挥发程度。因此,恰当地选择激光功率和脉冲数能有效形成表面具有较高尖峰的微结构硅,从而获得在宽光谱范围内均具有高吸收效率的微纳硅基光伏材料。这一结果对表面微结构材料的有效制备、表面形态控制,及其相应的光电属性等都有着重要的意义。
- 彭滟温雅张冬生陈宏彦罗士达陈麟徐公杰朱亦鸣
- 关键词：激光技术微结构飞秒激光脉冲
